[發明專利]一種用于制備顯示器的襯底

無效

• 申請號: 201010133628.0
• 申請日: 2010-03-15
• 公開（公告）號: CN101814514A
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發明（設計）人: 彭俊華;郭海成;凌代年;邱成峰;黃飚;黃宇華
• 申請（專利權）人: 廣東中顯科技有限公司
• 主分類號: H01L27/142
• 分類號: H01L27/142
• 代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇

1.一種用于制備顯示器的襯底，包括在其一個表面上制備成的適用于 太陽能電池的第一多晶硅薄膜材料層和在其另一個表面上制備成的 適用于顯示器的第二多晶硅薄膜材料層，其中第一多晶硅薄膜材料 層具有1-5微米厚并且具有PN結，第二多晶硅薄膜材料層具有 30-100納米厚，并且在襯底表面和第二多晶硅薄膜材料層之間具有 0.1-1微米厚的阻擋層。

2.根據權利要求1所述的襯底，其特征在于所述襯底為石英玻璃。

3.根據權利要求1所述的襯底，其特征在于所述第一多晶硅薄膜材料 層的厚度為3微米。

4.根據權利要求1所述的襯底，其特征在于所述阻擋層為0.5微米的 二氧化硅或氮化硅。

5.根據權利要求1所述的襯底，其特征在于所述第二多晶硅薄膜材料 層的厚度為45納米。