[發明專利]從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡便化工業方法

無效

• 申請號: 201010132415.6
• 申請日: 2010-03-26
• 公開（公告）號: CN101875492A
• 公開（公告）日: 2010-11-03
• 發明（設計）人: 劉來寶;朱志翔;孫余憑
• 申請（專利權）人: 連云港佳宇電子材料科技有限公司
• 主分類號: C01B31/36
• 分類號: C01B31/36;C10M175/00;H01L21/304
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡便化工業方法。其特征在于，所述方法包括如下步驟：

步驟一，在切割砂漿中加入稀釋劑，以降低體系粘度；

步驟二，將降低粘度后的砂漿物質通過精密過濾裝置A進行一級分離，根據硅材料線切割對碳化硅磨料的粒度分布要求設定控制過濾精度，得到固體組份S1；

步驟三，對一級分離所得到的固體組份S1進行堿洗、酸洗和清洗，濕料經烘干可直接得到可滿足硅材料線切割要求的高品質碳化硅；

步驟四，對經過一級分離后的砂漿液體，再通過精密過濾裝置B進行二級分離，控制過濾精度使得能夠截留的最小通過顆粒在2μm以下，得到固體物質S2和分離清液；

步驟五，對二級分離所得S2進行堿洗、酸洗和清洗，濕料經烘干，收集得到粒度更小的碳化硅微粉用于其它工業場合。

2.根據權利要求1所述從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡便化工業方法，其特征在于：硅片切割加工砂漿包括太陽能級硅片切割加工砂漿和電子級硅片切割加工砂漿。

3.根據權利要求1所述從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡便化工業方法，其特征在于：回收的碳化硅用于硅材料切割加工過程或作為碳化硅產品；所述分離清液用作后道工序回收提取切削液組份。

4.根據權利要求1所述從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡便化工業方法，其特征是：步驟一中所述的稀釋劑包括丙酮、丁酮、甲醇、乙醇、異丙醇、醋酸乙酯、苯、甲苯、二氯甲烷、氯仿、二氯乙烷、三氯乙烯、四氫呋喃、乙睛、丙二醇、乙二醇、乙二醇單甲醚、乙二醇二甲醚、1，4-二氧六環中的一種或幾種的混合物，用量為5％～75％(總重量的百分比)；所述降低體系粘度，其降低后的粘度范圍為10-100cps之間。

5.根據權利要求1所述從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡便化工業方法，其特征是：步驟二、四中所述的精密過濾裝置A、B包括精密板框過濾器、PAE精密過濾器、層疊式精密過濾器、微孔濾芯過濾器、濾膜精密過濾器、濾芯式過濾器和旋流器中的一種或幾種組合；過濾形式包括濾渣收集式或濾渣自排放式。

6.根據權利要求1所述從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡便化工業方法，其特征在于：步驟二中所述根據硅材料線切割的要求設定控制過濾精度的顆粒最小粒度介于5-15μm之間。

7.根據權利要求1所述從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡便化工業方法，其特征在于：步驟三、五中所述堿洗所用的堿是液體或固體的金屬氫氧化物；酸洗所用的酸為無機酸或有機酸，或者有機酸與無機酸的混合物；所述酸是純酸或酸溶液；清洗時用潔凈的清水，在清洗后再經機械分離得到碳化硅濕料。

8.根據權利要求1所述從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡便化工業方法，其特征在于，步驟三、五所述在烘干碳化硅濕料時所用的烘干方法包括：流化床干燥法、固定床干燥法；烘干溫度40～150℃；烘干壓力包括常壓干燥和真空干燥。

9.根據權利要求7所述從硅片切割加工砂漿中回收碳化硅的簡便化工業方法，其特征在于，所述金屬氫氧化物為氫氧化鈉、氫氧化鉀或碳酸鈉；所述無機酸為硫酸、碳酸、硝酸、鹽酸、氫氟酸；所述有機酸為醋酸、草酸、檸檬酸。