[發明專利]多足直線壓電驅動器與工作臺

有效

• 申請號: 201010131680.2
• 申請日: 2010-03-23
• 公開（公告）號: CN101795088A
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 褚祥誠;袁松梅;查海勇;袁世明
• 申請（專利權）人: 清華大學;北京航空航天大學;精拓麗音科技(北京)有限公司
• 主分類號: H02N2/02
• 分類號: H02N2/02
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司 11246
• 代理人: 史雙元

1.一種多足直線壓電驅動器，其特征在于，所述多足直線壓電驅動器是在長 方體基板上伸出方形驅動足，其結構呈梳狀，在驅動足側面粘接方形壓電陶瓷片， 所有驅動足的端面在一個平面上；并且所述驅動足數量為偶數個，采用兩兩一組 的結構形式，組內驅動足之間相互獨立或用橫梁連接；并且各組驅動足結構相同； 壓電陶瓷片沿厚度方向極化，將電信號引入壓電陶瓷片的電極面，會同時激發驅 動足一階伸縮振動和一階或二階彎曲振動，兩種振動的耦合作用使得驅動足底面 質點做橢圓運動，這種橢圓運動累積疊加實現驅動器的直線運動。

2.根據權利要求1所述多足直線壓電驅動器，其特征在于，所述基板做成矩 形、方形、圓形或橢圓形。

3.根據權利要求1所述多足直線壓電驅動器，其特征在于，所述采用兩兩一 組的結構形式，若組內驅動足之間相互獨立時，在同一組驅動足內，一個足上壓 電陶瓷片極化方向為相向，另一個足上壓電陶瓷片極化方向為相背。

4.根據權利要求1所述多足直線壓電驅動器，其特征在于，所述采用兩兩一 組的結構形式，若組內兩足間設有橫梁時，在橫梁上粘接壓電陶瓷片，且其極化 方向為相向或相背。

5.根據權利要求1所述多足直線壓電驅動器，其特征在于，所述壓電陶瓷采 用磁致伸縮材料、電致伸縮材料、人工肌肉或形狀記憶合金。

6.一種使用權利要求1所述多足直線壓電驅動器驅動的工作臺，其特征在于， 工作臺定子(9)安裝在基座(6)上；驅動器座(13)安裝在工作臺動子(10) 上；驅動器(5)的基板(1)安裝在驅動器座(13)上，驅動器(5)的驅動足 底面與導軌面(7)配合；安裝在驅動器座(13)上的預緊螺釘(12)提供驅動 足底面與導軌面(7)預緊力；光柵尺(8)安裝在基座(6)上，光柵頭(11) 安裝在驅動器座(13)上，光柵尺(8)和光柵頭(11)為控制系統提供工作臺 的精確位置，實現對工作臺閉環控制。