[發明專利]可切換的射頻功率源系統

無效

• 申請號: 201010130648.2
• 申請日: 2010-03-23
• 公開（公告）號: CN102202454A
• 公開（公告）日: 2011-09-28
• 發明（設計）人: 尹志堯;陳金元;杜志游;歐陽亮;飯塚浩
• 申請（專利權）人: 中微半導體設備(上海)有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 王潔

1.一種可切換的射頻功率源系統，其特征在于，包括：

振蕩器，提供一頻率信號；

射頻功率源組件，接收所述頻率信號和以一第一頻率或一第二頻率輸出一射頻信號；

寬頻帶放大器，接收和放大所述以一第一頻率或一第二頻率輸出的射頻信號，從而提供一個被放大的具有該第一頻率或該第二頻率的射頻信號；以及，

切換機制，用以在所述第一頻率和第二頻率之間切換。

2.如權利要求1所述的射頻功率源系統，其特征在于，所述射頻功率源組件包括一第一直接數字式合成器和一第二直接數字式合成器，并且，所述切換機制包括一第一開關和一第二開關，所述第一開關接收所述頻率信號并且選擇性地提供所述頻率信號至所述第一直接數字式合成器和第二直接數字式合成器中的一個，所述第二開關選擇性地將源自所述第一直接數字式合成器或第二直接數字式合成器的射頻信號施加至所述寬頻帶放大器。

3.如權利要求1所述的射頻功率源系統，其特征在于，所述射頻功率源組件包括一第一直接數字式合成器和一第二直接數字式合成器，并且，所述切換機制包括一個開關選擇性地將源自所述第一直接數字式合成器或第二直接數字式合成器的射頻信號施加至所述寬頻帶放大器。

4.如權利要求1所述的射頻功率源系統，其特征在于，還包括一匹配網絡，并且，所述切換機制包括一開關選擇性提供一具有所述第一頻率或所述第二頻率的射頻信號給所述匹配網絡。

5.一種可切換的射頻功率源系統，包括：

振蕩器，提供一頻率信號；

射頻功率源組件，接收所述頻率信號和以一第一頻率或一第二頻率輸出一射頻信號；

一第一窄頻帶放大器，接收和放大所述以該第一頻率輸出的射頻信號，以及一第二窄頻帶放大器，接收和放大所述以該第二頻率輸出的射頻信號，從而提供一個被放大的具有所述第一頻率或所述第二頻率的射頻信號；以及，

切換機制，用以在所述第一頻率和第二頻率之間切換。

6.如權利要求5所述的射頻功率源系統，其特征在于，所述切換機制包括一第一個開關和一第二開關；所述第一開關接收所述頻率信號并且選擇性地提供所述具有第一頻率的射頻信號至所述第一窄頻帶放大器和提供所述具有第二頻率的射頻信號至所述第二窄頻帶放大器；所述第二開關選擇性地從所述第一窄頻帶放大器或所述第二窄頻帶放大器接收輸出信號。

7.一種可切換的射頻功率源系統，包括：

振蕩器，提供一頻率信號；

射頻功率源組件，接收所述頻率信號和以一第一頻率或一第二頻率輸出一射頻信號；

一第一窄頻帶放大器，接收和放大所述以該第一頻率輸出的射頻信號，以及一第二窄頻帶放大器，接收和放大所述以該第二頻率輸出的射頻信號，從而提供一個被放大的具有所述第一頻率或所述第二頻率的射頻信號；以及，

切換機制，接收所述射頻功率源組件的輸出并且選擇性地將所述具有第一頻率的射頻信號施加至所述第一窄頻帶放大器或將所述具有第二頻率的射頻信號施加至所述第二窄頻帶放大器。

8.一種可切換的射頻功率源系統，其特征在于，包括：

振蕩器，提供一頻率信號；

第一射頻功率源組件，接收所述頻率信號和以一第一頻率輸出一射頻信號；和一第二射頻功率源組件，接收所述頻率信號和以一第二頻率輸出一射頻信號；

寬頻帶放大器，接收和放大所述具有該第一頻率或該第二頻率的射頻信號，從而提供一個被放大的具有該第一頻率或該第二頻率的射頻信號；以及，

切換機制，選擇性地接收所述第一射頻功率源組件或所述第二射頻功率源組件的輸出，并且選擇性地施加所述具有第一頻率的射頻信號或具有第二頻率的射頻信號至所述寬頻帶放大器。

9.一種可切換的射頻功率源系統，其特征在于，包括：

振蕩器，提供一頻率信號；

射頻功率源組件，接收所述頻率信號和選擇性地以一第一頻率或一第二頻率輸出一射頻信號；

寬頻帶放大器，接收和放大所述源自于該射頻功率源組件的射頻信號，從而提供一個被放大的具有該第一頻率或該第二頻率的射頻信號。

10.如權利要求9所述的射頻功率源系統，其特征在于，還包括一開關機制，接收所述寬頻帶放大器的輸出并且選擇性地施加所述具有該第一頻率的經過放大的射頻信號至一第一匹配網絡或施加所述具有該第二頻率的經過放大的射頻信號至一第二匹配網絡。