[發明專利]研磨墊調節裝置無效
| 申請號： | 201010130264.0 | 申請日： | 2010-03-11 |
| 公開（公告）號： | CN102189484A | 公開（公告）日： | 2011-09-21 |
| 發明（設計）人： | 高思瑋;魏紅建;齊寶玉;吳端毅 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/00 | 分類號： | B24B37/00;B24B53/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知識產權代理有限公司 11018 | 代理人： | 牛崢;王麗琴 |
| 地址： | 201203 *** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 研磨 調節 裝置 | ||
1.一種研磨墊調節裝置，用于控制鉆石研磨盤清理化學研磨機臺研磨墊上的雜質，包括附著鉆石研磨盤的托盤、軸、支臂和基座，其特征在于，該裝置還包括霍爾傳感器、永磁體和微處理器；
永磁體，內嵌安裝于托盤上，用于產生磁通量信號；
霍爾傳感器，安裝于支臂上，與永磁體相對配置，用于在托盤旋轉時，接收所述永磁體產生的磁通量信號，將所述磁通量信號轉變為電信號；
微處理器，用于讀取所述電信號，對電信號進行分析處理，獲得鉆石研磨盤的轉速和在垂直方向上的位置信息。
2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述微處理器對電信號進行分析處理的過程為：根據單位時間內電信號的個數確定鉆石研磨盤的轉速；根據電信號的幅值確定鉆石研磨盤的位置。
3.如權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述永磁體的個數不小于6個，呈圓狀均勻內嵌安裝于托盤上，且靠近托盤的邊緣。
4.如權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述電信號為電壓脈沖信號或者電流脈沖信號。
5.如權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述鉆石研磨盤通過永磁體吸附于托盤上。
6.如權利要求5所述的裝置，其特征在于，每個永磁體安裝于托盤上對應的安裝孔內。
7.如權利要求6所述的裝置，其特征在于，所述永磁體位于安裝孔的中心，所述永磁體的四周，安裝孔的空隙中填充有絕緣材料。
8.如權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述安裝孔的截面形狀為倒梯形。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中芯國際集成電路制造(上海)有限公司，未經中芯國際集成電路制造(上海)有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010130264.0/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：分配資源的指示方法及基站
- 下一篇：信息處理設備、信息處理方法和程序
