[發明專利]一種用于晶棒的切割機斷線后的處理方法無效
| 申請號： | 201010129798.1 | 申請日： | 2010-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN101791829A | 公開（公告）日： | 2010-08-04 |
| 發明（設計）人： | 郜勇軍;方建和;柴宏峰 | 申請（專利權）人： | 浙江矽盛電子有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/04 | 分類號： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 杭州天正專利事務所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 切割機 斷線 處理 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于晶棒的切割機斷線后的處理方法，其特征在于先將切割機上的晶棒抬離線網，剪掉線網，并將一定大小的容器放置于主輥之間以及晶棒的下部，下降工件臺將晶棒放入容器內；之后，在容器內倒入無水乙醇直至沒過晶棒切割位置，導入輕微的壓縮空氣，促使無水乙醇循環流動的清洗晶棒，少許時間后重新更換容器中的無水乙醇，再次重復上述操作一次或一次以上，然后用壓縮空氣吹干晶棒表面及線縫中無水乙醇；最后，上升工件臺并重鋪線網，將線網對入晶棒線縫，繼續切割。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于浙江矽盛電子有限公司，未經浙江矽盛電子有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201010129798.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
