[發(fā)明專利]光束照射裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010129577.4 | 申請日: | 2010-03-03 |
| 公開(公告)號: | CN101846742A | 公開(公告)日: | 2010-09-29 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 前納良昭;山口光隆 | 申請(專利權(quán))人: | 三洋電機(jī)株式會社;三洋光學(xué)設(shè)計株式會社 |
| 主分類號: | G01S7/48 | 分類號: | G01S7/48;G01S17/06;G02B26/10 |
| 代理公司: | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021 | 代理人: | 劉建 |
| 地址: | 日本國*** | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 光束 照射 裝置 | ||
1.一種光束照射裝置,具備:
激光光源,其出射激光;
傳動裝置,其使所述激光在目標(biāo)區(qū)域掃描;
伺服光學(xué)系統(tǒng),其發(fā)出伺服光并且隨著所述傳動裝置的驅(qū)動使所述伺服光的行進(jìn)方向變化;
光檢測器,其接受所述伺服光并輸出與受光位置相應(yīng)的檢測信號;
信號處理部,其基于所述檢測信號生成位置檢測信號;和
控制部,其基于所述位置檢測信號,控制所述激光光源和所述傳動裝置,
該光束照射裝置的特征在于,所述信號處理部具有:
差分取得部,其取得在連續(xù)的兩個采樣時刻采樣所述檢測信號后的兩個采樣值的差分;
第一A/D變換部,其將所述差分變換為數(shù)字信號;和
第一運(yùn)算部,其基于在所述第一A/D變換部中被變換為數(shù)字信號后的所述差分,對所述位置檢測信號進(jìn)行運(yùn)算。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光束照射裝置,其特征在于,
所述信號處理部具備:
第二A/D變換部,其將在規(guī)定的采樣時刻采樣所述檢測信號后的采樣值變換為數(shù)字信號;
第二運(yùn)算部,其基于在所述第二A/D變換部被變換為數(shù)字信號后的所述采樣值,對所述位置檢測信號進(jìn)行運(yùn)算;和
選擇部,其將由所述第一運(yùn)算部和所述第二運(yùn)算部中的其中一方運(yùn)算后的所述位置檢測信號提供給所述控制部,
所述選擇部在所述激光正在掃描所述目標(biāo)區(qū)域時將由所述第一運(yùn)算部運(yùn)算后的所述位置檢測信號提供給所述控制部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光束照射裝置,其特征在于,
所述選擇部在所述激光正在掃描所述目標(biāo)區(qū)域時,若所述差分超過被設(shè)定為所述第一A/D變換部的容許變換范圍的最大值以下的閾值,則將由所述第二運(yùn)算部運(yùn)算后的所述位置檢測信號提供給所述控制部。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光束照射裝置,其特征在于,
所述光束照射裝置還具備:
位置檢測部,其檢測所述傳動裝置的驅(qū)動位置是否處于參考位置;和
誤差檢測部,其求取檢測出所述驅(qū)動位置位于所述參考位置時的所述檢測信號的采樣值和其理想值的差分,以作為誤差成分,
所述第二運(yùn)算部基于從所述采樣值中去除所述誤差成分后的信號值,對所述位置檢測信號進(jìn)行運(yùn)算。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光束照射裝置,其特征在于,
所述位置檢測部具備:
受光元件,其接受所述伺服光的一部分,以作為位置檢測光;和
光學(xué)元件,其在所述傳動裝置處于所述參考位置時使所述位置檢測光入射到所述受光元件。
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