[發明專利]激光直線度干涉儀光路系統

有效

• 申請號: 201010129356.7
• 申請日: 2010-03-22
• 公開（公告）號: CN101881606A
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發明（設計）人: 梁軍;鄧上;舒陽;黃寧秋;羨一民
• 申請（專利權）人: 成都工具研究所
• 主分類號: G01B11/26
• 分類號: G01B11/26;G01B9/02
• 代理公司: 成都立信專利事務所有限公司 51100
• 代理人: 馮忠亮

1.激光直線度干涉儀光路系統，其特征在于由激光頭(1)，組件(A)、雙光楔(11)和雙平面反射鏡(12)組成，組件(A)由偏振分光鏡(6)、反射鏡(7)、角錐棱鏡(8)、四分之一波片(9)、(10)粘接成一體，其中偏振分光鏡(6)由兩個直角棱鏡沿斜面粘結組成，在直角棱鏡的斜面上鍍有偏振分光膜，反射鏡(7)是一個在斜面鍍有消偏振反射膜的直角棱鏡，反射鏡(7)的斜面與偏振分光鏡的直角棱鏡的斜面平行，四分之一波片(9)、(10)沿兩直角棱鏡的直角面粘結成一平面，角錐棱鏡(8)的三個角錐面鍍有全反射膜，其底面與偏振分光鏡(6)的直角棱鏡的直角面粘接，四分之一波片(9)的光軸與激光頭發出的f2光的偏振方向即S偏振的夾角為45°，四分之一波片(10)的光軸與激光頭發出的f1光的偏振方向即P偏振的夾角為45°，雙光楔(11)由兩個直角面相對的上部光楔和下部光楔粘接而成，上部光楔和下部光楔均為直角三角形，其兩個相連為一平面的直角面面向組件(A)的四分之一波片，測量時激光頭(1)、組件(A)和雙平面反射鏡(12)位置固定，雙光楔(11)置于組件(A)和雙平面反射鏡(12)之間，并固定于被測體上，激光頭(1)發出的f1光即P偏振光和f2即S偏振在組件(A)的偏振分光鏡(6)上按照偏振方向分離，f1光透過偏振分光鏡(6)和四分之一波片(10)射向雙光楔(11)的下部光楔、f2光在偏振分光鏡(6)和反射鏡(7)反射后通過四分之一波片(9)射向雙光楔(11)的上部光楔，雙光楔(11)出射的f1、f2光交叉，并垂直投射到雙平面反射鏡(12)，當被測體連同雙光楔(11)沿水平方向(Y方向)運動時，被測體在豎直方向(Z方向)產生位移(即直線度誤差)時，f1、f2光入射到雙光楔(11)的位置發生變化而產生光程差，此光程差回射到激光頭(1)，由激光直線度干涉儀的電路處理和計算機運算后得到直線度誤差。

2.根據權利要求1所述的激光直線度干涉儀的光路系統，其特征在于由激光頭(1)發出的f1光的路徑依次為偏振分光鏡(6)、四分之一波片(10)、雙光楔(11)、雙平面反射鏡(12)、雙光楔(11)、四分之一波片(10)、偏振分光鏡(6)、角錐棱鏡(8)、偏振分光鏡(6)、四分之一波片(10)、雙光楔(11)、雙平面反射鏡(12)、雙光楔(11)、四分之一波片(10)、偏振分光鏡(6)、激光頭(1)；由激光頭(1)發出的f2光的路徑依次為偏振分光鏡(6)、反射鏡(7)、四分之一波片(9)、雙光楔(11)、雙平面反射鏡(12)、雙光楔(11)、四分之一波片(9)、反射鏡(7)、偏振分光鏡(6)、角錐棱鏡(8)、偏振分光鏡(6)、反射鏡(7)、四分之一波片(9)、雙光楔(11)、雙平面反射鏡(12)、雙光楔(11)、四分之一波片(9)、反射鏡(7)、偏振分光鏡(6)返回激光頭(1)。