[發明專利]基于超聲波振動臺的液體材料薄膜噴涂裝置及方法

無效

• 申請號: 201010129104.4
• 申請日: 2010-03-18
• 公開（公告）號: CN101791604A
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 牟鵬;向東;何磊明;段廣洪;瞿德剛
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: B05B17/06
• 分類號: B05B17/06;B05C11/08;B05C13/02
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 胡小永

1.一種基于超聲波振動臺的液體材料薄膜噴涂裝置，其特征在于，所述裝置包括：

超聲霧化噴嘴，用于霧化液體形成微細液滴；

噴嘴移動機構，連接超聲霧化噴嘴，用于移動所述超聲霧化噴嘴；

器件吸附構件，設置于所述超聲霧化噴嘴下方，用于吸附固定待噴涂基片器件；

超聲振動構件，設置于所述器件吸附構件下端，連接超聲驅動電源，用于對所述待噴涂基片器件產生上下方向的振動。

2.如權利要求1所述的基于超聲波振動臺的液體材料薄膜噴涂裝置，其特征在于，所述超聲振動構件包括由電極片與一對壓電晶片構成的壓電換能器，所述壓電換能器用于在超聲驅動電源的激勵下，對所述待噴涂基片器件產生上下方向的振動。

3.如權利要求1所述的基于超聲波振動臺的液體材料薄膜噴涂裝置，其特征在于，所述超聲振動構件還連接有平臺移動機構，所述平臺移動機構用于根據具體的需要移動所述超聲振動構件。

4.一種基于超聲波振動臺的液體材料薄膜噴涂方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

步驟1，將待噴涂基片器件固定在器件吸附構件上，按噴涂要求調整好器件吸附構件與超聲霧化噴嘴之間的間距；

步驟2，開啟超聲霧化噴嘴，通過液體供給系統向超聲霧化噴嘴輸送液體溶液，使霧化的液滴噴涂在基片器件上；

步驟3，開啟超聲驅動電源，使基片器件發生上下方向的振動；

步驟4，移動機構帶動超聲霧化噴嘴和/或超聲振動構件進行相對運動，使基片器件上形成厚度均勻的薄膜，噴涂完成后關閉液體供給系統與超聲霧化噴嘴。

5.如權利要求4所述的基于超聲波振動臺的液體材料薄膜噴涂方法，其特征在于，所述步驟2中的液體溶液的供給量由精確計量泵根據噴涂的厚度要求在一定范圍內設定。

6.如權利要求4所述的基于超聲波振動臺的液體材料薄膜噴涂方法，其特征在于，所述步驟3中的使待噴涂器件發生上下方向的振動具體為壓電換能器在超聲驅動電源的激勵下，帶動所述待噴涂基片器件產生上下方向的振動。

7.如權利要求4所述的基于超聲波振動臺的液體材料薄膜噴涂方法，其特征在于，所述步驟4中移動機構移動速率在一定范圍內根據具體噴涂要求進行調整。

8.如權利要求4所述的基于超聲波振動臺的液體材料薄膜噴涂方法，其特征在于，所述步驟4中移動機構移動路徑根據噴涂的目標區域進行預先設定。

9.如權利要求4所述的基于超聲波振動臺的液體材料薄膜噴涂方法，其特征在于，所述步驟4中的相對運動為超聲振動機構靜止，噴嘴移動機構帶動噴嘴在器件吸附構件上方運動。

10.如權利要求4所述的基于超聲波振動臺的液體材料薄膜噴涂方法，其特征在于，所述步驟4中的相對運動為超聲霧化噴嘴靜止，平臺移動機構帶動超聲振動構件以及器件吸附構件在超聲霧化噴嘴下方運動。