[發明專利]聚光構件和照明單元、以及利用它的光學檢查裝置

無效

• 申請號: 201010128964.6
• 申請日: 2010-03-22
• 公開（公告）號: CN101839426A
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發明（設計）人: 崔鉉鎬;金敏秀
• 申請（專利權）人: AJU高技術公司
• 主分類號: F21S8/00
• 分類號: F21S8/00;F21V13/00;F21V17/00;G01N21/88
• 代理公司: 北京鴻元知識產權代理有限公司 11327
• 代理人: 陳英俊

技術領域

本發明涉及一種聚光構件和照明單元，以及利用該聚光構件和照明單元的光學檢查裝置。更具體地說，涉及聚集光線的聚光構件，利用該聚光構件向檢查對象物(印刷電路板)照射光的照明單元，以及利用照明單元照射的光拍攝在檢查對象物(印刷電路板)上形成的圖形，并且處理拍攝到的圖像信息，以檢查形成于檢查對象物上的圖形是否有缺陷的光學檢查裝置。

背景技術

近年來，作為在液晶顯示裝置的驅動集成電路(LCD?Driver?IC)、存儲器以及LSI等各種半導體集成電路和超小型產品等中使用的主要材料之一的印刷電路板，已制造成薄膜(film)、卷帶(tape)等形式。

在這樣的印刷電路板中，經常使用的是統稱為卷帶自動結合(TapeAutomatic?Bonding)基板或者覆晶薄膜(Chip?On?Film)基板的印刷電路板。這樣的薄膜/卷帶形式的印刷電路板，是通過曝光、顯影、蝕刻等制作工序而形成圖形，但是，隨著半導體器件逐漸超小型化的趨勢，這種圖形變得非常細小，實際上很難用操作者的肉眼進行圖形的缺陷檢查。因此，準確地檢查出印刷電路板的圖形缺陷，已成為提高自動光學檢查裝置的核心性能、即檢查可靠性的重要因素。

特別是，在薄膜、卷帶形式的印刷電路板中，當檢查圖形寬度非常細小的卷帶自動結合(TAB)基板、覆晶薄膜(COF)基板時，現有的照明裝置發出的照明亮度的極限和檢查區域內的光均勻度是非常重要的。但是，在現有的照明裝置中，從光源發出的光在到達檢查對象物的表面之前會發生較大的光損失，結果，只有發生損失后剩余的光線通過透鏡被傳輸至圖像傳感器，所以，很難獲得穩定的圖像。

發明內容

本發明的目的在于提供一種聚光構件和照明單元、以及利用該聚光構件和照明單元的光學檢查裝置，使照射在檢查對象物(印刷電路板)上的光的損失最小化，在整個圖形表面上獲得更均勻的亮度，從而提高檢查可靠性。

本發明的目的并不局限于此，本領域的普通技術人員根據以下記載可以清楚地了解未提及的其它目的。

為了實現所述目的，本發明涉及的照明單元包括：光源，發出光；光分離構件，根據入射的光的方向，使光反射或者透射；以及聚光構件，使從所述光源發出并且被所述光分離構件反射的光發生折射后，聚光在在照明對象上，并且，將被所述照明對象反射的光引向所述光分離構件。

也可以是，在具有上述結構的本發明涉及的照明單元中，所述聚光構件沿著所述光分離構件反射光的方向，與所述光分離構件隔著間距配置；在所述聚光構件的中心部形成有使光通過的孔部；在面對所述光分離構件的所述聚光構件的第一面和所述第一面的相反面即第二面中的任一個面中，提供以所述孔部為中心對稱的多個傾斜面。

也可以是，所述多個傾斜面的傾斜角，朝著所述孔部越向內側變得越小。

也可以是，所述多個傾斜面朝著所述孔部向內側傾斜。

也可以是，所述多個傾斜面以所述孔部為中心向外側傾斜。

也可以是，所述聚光構件具有與所述光分離構件的長度相對應的長度，所述多個傾斜面可以沿著所述聚光構件的長度方向延伸得很長。

也可以是，所述多個傾斜面是平面，或者所述多個傾斜面是曲面。

也可以是，所述聚光構件沿著所述光分離構件反射光的方向，與所述光分離構件隔著間距配置；面對所述光分離構件的所述聚光構件的第一面的相反面即第二面，是向下凸起狀的曲面。

也可以是，所述聚光構件沿著所述光分離構件反射光的方向，與所述光分離構件隔著間距配置；面對所述光分離構件的所述聚光構件的第一面的相反面、即第二面的中心部是平面，所述第二面的周邊部是向下凸起狀的曲面。

也可以是，所述聚光構件的所述第一面是平面。

也可以是，還包括平行光變換構件，其位于所述光源和所述光分離構件之間，將所述光源發出的光轉換成平行光。

也可以是，所述平行光變換構件的朝向所述光源的面是凸起狀的曲面，所述平行光變換構件的朝向所述光分離構件的面是平面。

也可以是，還包括擴散構件，其介于所述光分離構件和所述平行光變換構件之間，使所述平行光擴散，以便提高透過所述平行光變換構件的所述平行光的光均勻度。

也可以是，所述光分離構件是光分束鏡。

也可以是，所述光分離構件是半透半反鏡。

也可以是，所述光分離構件和所述擴散構件的、與所述平行光垂直的方向上的長度相同。