[發明專利]陣列型磁傳感器基板

無效

• 申請號: 201010127494.1
• 申請日: 2010-03-09
• 公開（公告）號: CN101832969A
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發明（設計）人: 渡邊慶典
• 申請（專利權）人: 株式會社東芝
• 主分類號: G01N27/83
• 分類號: G01N27/83;G01R33/02
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 許玉順;胡建新

技術領域

本發明涉及在根據由薄鋼板的缺陷而產生的漏磁通來檢測有無缺陷的陣列型磁探傷裝置等中所使用的陣列型磁傳感器基板，特別是涉及容易進行陣列型磁傳感器的校正的陣列型磁傳感器基板。

背景技術

以前，對作為食器等的材料的馬口鐵等帶鋼(strip)(在此稱作薄鋼)的表層以及內部所存在的微小缺陷進行檢測的檢測裝置，有如下的陣列型磁探傷裝置：在薄鋼板的寬度方向上排列多個陣列型磁傳感器，從而檢測由其缺陷所產生的漏磁通來判定有無缺陷。例如，有日本的專利公報、專利第3811039號公報(圖1、第1頁)(以下稱作專利文獻1)。

圖3示出該陣列型磁探傷裝置的磁傳感器頭30的結構。如圖3(a)所示，在磁傳感器頭30中，在被壓接在非磁性輥11面上而與向箭頭方向搬運的薄鋼板13的表面鄰近的倒U字形的磁化軛鐵24的開口部，與薄鋼板10之間隔開規定的縫隙(在此稱作離地(lift-off))，利用由磁化軛鐵24和纏在磁化軛鐵24上的線圈22所構成的磁化器，形成用于使薄鋼板13向其移動方向磁化的磁場。

然后，在該開口部中設置霍爾元件等半導體磁傳感器12和用于改善該半導體磁傳感器12的靈敏度的軟質磁性體14，上述半導體磁傳感器12以預先設定的離地距離與薄鋼板13鄰近，檢測在薄鋼板13的缺陷部中產生的漏磁通。使來自薄鋼板13的漏磁通向垂直方向集中地橫穿半導體磁傳感器12的感應面，以高靈敏度檢測有無微小缺陷。

例如圖3(b)所示，該半導體磁傳感器12在薄鋼板13的寬度方向上直線狀地等間隔并列有多個磁傳感器(元件)，以使得能夠確保預先設定的寬度方向的分辨率。

為了使各個磁傳感器(元件)的寬度方向的檢測靈敏度均勻并確保檢測缺陷的精度，定期地對該半導體磁傳感器12進行校正。

在使用了這種陣列型磁傳感器的磁傳感器頭30中，以前使用了如圖4(a)所示的校正裝置20。例如，有日本的公開專利公報、特開平9-229905號公報(圖1、第1頁)(以下稱作專利文獻2)。

在該校正裝置20中，在校正半導體磁傳感器12的情況下，使非磁性輥11a的接線面與半導體磁傳感器12的排列方向對置地配置，在該非磁性輥11a的對置的表面上纏繞導線11b，對該導線施加電流發生器15的產生的電流，使之產生規定的磁場。

然后，在該狀態下驅動與非磁性輥11a連結的馬達11b，從而如圖4(b)所示地使非磁性輥11a旋轉，將基于所施加的電流的該磁場作為基準磁場來進行半導體磁傳感器12的校正。

但是，在專利文獻2中示出的校正中，由于使導線11b與半導體磁傳感器12的列相對，因此，來自導線的磁場變得與半導體磁傳感器12的感磁面平行。

因此，在要使用垂直于半導體磁傳感器12的感磁面的磁場來校正檢測靈敏度的情況下，具有不能對半導體磁傳感器12賦予實際使用的垂直方向的磁場的問題，另外還具有要準備大型的旋轉輥等，校正裝置11成為大規模的問題。(以后，將半導體磁傳感器12稱作陣列型磁傳感器)。

因此，已公開了這樣一種陣列型磁傳感器的校正方法，在對排列有一個或多個具有多個陣列型傳感器的列的陣列型磁傳感器進行校正的情況下，在由陣列型磁傳感器列的中心線和陣列型磁傳感器的感磁面的法線所構成的平面上以外的位置上，將導體平行于陣列型磁傳感器列進行配置，使規定電流流過該導體以使之產生磁場，使用該磁場作為基準磁場。例如，有日本的公開專利公報、特開2005-61940號公報(圖1、第1頁)(以下稱作專利文獻3)。

但是，在專利文獻3中的校正裝置中，雖然能夠對磁傳感器的感磁面高效地施加垂直磁化，但是具有不能進行對于薄鋼板的微小缺陷的動態檢測靈敏度、即薄鋼板的移動狀態中的檢測靈敏度的校正的問題。

因此，在要對各個磁傳感器的微小缺陷的動態(薄鋼板的最大移動速度下的)檢測靈敏度進行校正的情況下，還是存在有需要如專利文獻2所示的大型校正裝置的問題。