[發明專利]超聲波樣品臺以及用其進行粉體磁控濺射鍍膜的方法

有效

• 申請號: 201010125037.9
• 申請日: 2010-03-16
• 公開（公告）號: CN101798677A
• 公開（公告）日: 2010-08-11
• 發明（設計）人: 沈志剛;俞曉正;蔡楚江;麻樹林;邢玉山
• 申請（專利權）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/50
• 代理公司: 北京永創新實專利事務所 11121
• 代理人: 李有浩

1.一種采用超聲波樣品臺進行粉體磁控濺射鍍膜的方法，其特征在于有下列步 驟：

(A)打開真空室，把裝有粉體材料的樣品容器安裝在共振器的上方；

(B)關閉真空室，打開真空抽氣裝置中的機械泵抽真空至0.7Pa～0.9Pa；

(C)打開真空抽氣裝置中的分子泵抽真空至2.0×10^-3Pa～5.0×10^-3Pa；

(D)打開流量計，向真空室內充氬氣至0.3Pa～0.4Pa；

(E)打開超聲波發生器，調節超聲波頻率20kHz～500kHz和功率50W～ 2000W；

(F)打開靶電源，調節功率至500W～1500W，開始濺射鍍膜；

(G)經100min～600min后關閉靶電源，停止濺射；

(H)按順序關閉流量計、分子泵和機械泵，再打開放氣閥緩慢向真空室內放氣， 當真空室內壓力與大氣壓力平衡后，打開真空室，取出樣品容器，鍍膜結束；

所述超聲波樣品臺包括有樣品容器、共振器和超聲波發生器，樣品容器置于共振 器上方，共振器通過電纜與超聲波發生器相連；樣品容器上設有空腔，該空腔用于放 置待加工物料；樣品容器的底部的中心部位設有螺紋孔，在共振器的上方安裝一螺紋 柱，該螺紋柱安裝在樣品容器底部的螺紋孔內，該螺紋孔與螺紋柱的螺紋配合實現將 樣品容器安裝在共振器上方；樣品容器采用金屬材料加工，其壁厚為0.2mm～ 1.0mm；超聲波發生器輸出的超聲波頻率為20kHz～500kHz和輸出功率為50W～ 2000W。