[發明專利]用于間隙填充材料組合物的共聚物、其制備方法和用于抗反射涂層的間隙填充材料組合物

無效

• 申請號: 201010124723.4
• 申請日: 2010-02-05
• 公開（公告）號: CN101880352A
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發明（設計）人: 裴信孝;李鐘敦;洪承姬;趙承德
• 申請（專利權）人: 韓國錦湖石油化學株式會社
• 主分類號: C08F220/18
• 分類號: C08F220/18;C08F222/06;C08F220/14;C08F8/14;C08F220/28;C08L33/10;C08L33/14;G03F7/09
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 曾旻輝

1.一種用于間隙填充材料的共聚物，其由下列化學式1表示，

[化學式1]

其中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆和R₇彼此互相獨立，R₁是氫原子或是C1-10烷基，每個R₂、R₃和R₄表示氫原子、C1-10烷基或C1-20芳烷基，每個R₅、R₆和R₇表示氫原子或甲基，且每個a、b、c和d是表示主鏈上重復單元的數目，其中a+b+c+d＝1，0.05＜a/(a+b+c+d)＜0.95，0.05＜b/(a+b+c+d)＜0.95，0.05＜c/(a+b+c+d)＜0.95和0.05＜d/(a+b+c+d)＜0.95。

2.一種制備用于間隙填充材料的共聚物的方法，所述方法包括：

將馬來酸酐和丙烯酸酯化合物進行聚合反應，以生成由下列化學式2表示的第一聚合物；和

將所述第一聚合物和C1-10脂肪醇一起反應，以生成由下列化學式3表示的第二聚合物，

[化學式2]

[化學式3]

其中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅、R₆和R₇彼此互相獨立，R₁是氫原子或是C1-10烷基，每個R₂、R₃和R₄表示氫原子、C1-10烷基或C1-20芳烷基，每個R₅、R₆和R₇表示氫原子或甲基，且每個a、b、c和d是表示主鏈上重復單元的數目，其中a+b+c+d＝1，0.05＜a/(a+b+c+d)＜0.95，0.05＜b/(a+b+c+d)＜0.95，0.05＜c/(a+b+c+d)＜0.95和0.05＜d/(a+b+c+d)＜0.95。

3.如權利要求2所述的制備用于間隙填充材料的共聚物的方法，其中，所述丙烯酸酯化合物是從由丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸異丙酯、丙烯酸正丙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸異冰片酯、丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸異丙酯、甲基丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸叔丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸異丁酯、甲基丙烯酸環己酯、甲基丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸二甘醇甲醚酯、甲基丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸1-萘基甲酯、甲基丙烯酸2-萘基甲酯、甲基丙烯酸9-蒽基甲酯、甲基丙烯酸1-蒽基甲酯和甲基丙烯酸2-蒽基甲酯構成的組中選擇出來的至少一種。

4.如權利要求2所述的制備用于間隙填充材料的共聚物的方法，其中，所述聚合是本體聚合、溶液聚合、懸浮聚合、本體-懸浮聚合、乳液聚合和自由基聚合中的至少一種。

5.如權利要求4所述的制備用于間隙填充材料的共聚物的方法，其中，用于所述自由基聚合的引發劑是從由偶氮二異丁腈、過氧化苯甲酰、過氧化月桂酰、偶氮二異己腈、偶氮二異戊腈和叔丁基過氧化氫構成的組中選擇出來的至少一種。

6.如權利要求4所述的制備用于間隙填充材料的共聚物的方法，其中，用于自由基聚合的聚合溶劑是從苯、甲苯、二甲苯、鹵代苯、乙醚、四氫呋喃、酯類、醚類、內酯類、酮類和酰胺類中選擇出來的至少一種。

7.如權利要求2所述的制備用于間隙填充材料的共聚物的方法，其中，通過凝膠滲透色譜的按聚苯乙烯換算的重量平均分子量為1,000到100,000。

8.如權利要求2所述的制備用于間隙填充材料的共聚物的方法，其中，所述第一聚合物的分子量分布為1.0到5.0。