[發(fā)明專利]差動(dòng)共焦內(nèi)調(diào)焦法透鏡光軸及厚度測(cè)量方法與裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010121848.1
• 申請(qǐng)日: 2010-03-11
• 公開（公告）號(hào): CN103123251A
• 公開（公告）日: 2013-05-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙維謙;邱麗榮;楊佳苗;潘瑩瑩;孫若端;沙定國(guó);蘇大圖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06;G01M11/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.差動(dòng)共焦內(nèi)調(diào)焦法透鏡光軸及厚度測(cè)量方法，其特征在于：

(a)調(diào)整被測(cè)透鏡的光軸，使其與內(nèi)調(diào)焦物鏡共光軸；

(b)調(diào)節(jié)內(nèi)調(diào)焦物鏡，使由內(nèi)調(diào)焦物鏡出射的差動(dòng)共焦光錐頂點(diǎn)沿光軸方向進(jìn)行掃描，通過(guò)探測(cè)差動(dòng)共焦響應(yīng)曲線的絕對(duì)零點(diǎn)來(lái)確定差動(dòng)共焦光錐頂點(diǎn)與被測(cè)透鏡前表面相重合，此時(shí)內(nèi)調(diào)焦物鏡出射光的數(shù)值孔徑角為α₁；

(c)繼續(xù)調(diào)節(jié)內(nèi)調(diào)焦物鏡，使差動(dòng)共焦光錐頂點(diǎn)沿光軸方向繼續(xù)掃描，再次通過(guò)探測(cè)差動(dòng)共焦響應(yīng)曲線的絕對(duì)零點(diǎn)值來(lái)確定差動(dòng)共焦光錐頂點(diǎn)與被測(cè)透鏡后表面相重合，此時(shí)內(nèi)調(diào)焦物鏡出射光的數(shù)值孔徑角為α₂；

(d)根據(jù)已知參數(shù)：內(nèi)調(diào)焦物鏡出射光錐高度h₀、被測(cè)透鏡前表面曲率半徑r₁、空氣折射率n₀和被測(cè)透鏡折射率n，可由光線追跡公式計(jì)算透鏡厚度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差動(dòng)共焦內(nèi)調(diào)焦法透鏡光軸及厚度測(cè)量方法，其特征在于：所述(d)中的光線追跡公式滿足

d=r1+n0sinα2n·(h0tanα2-h0tanα1-r1)sin{α2+arcsin[sinα2r1(h0tanα2-h0tanα1-r1)]-arcsin[n0sinα2nr1(h0tanα2-h0tanα1-r1)]}]]>

通過(guò)此公式計(jì)算得到被測(cè)透鏡厚度d。