[發明專利]一種用于晶圓磨床的對刀裝置

無效

• 申請號: 201010121135.5
• 申請日: 2010-03-10
• 公開（公告）號: CN101780654A
• 公開（公告）日: 2010-07-21
• 發明（設計）人: 朱凱旋;黃國慶;田軍
• 申請（專利權）人: 無錫機床股份有限公司
• 主分類號: B24B19/22
• 分類號: B24B19/22;B24B41/00
• 代理公司: 無錫盛陽專利商標事務所(普通合伙) 32227
• 代理人: 顧朝瑞

(一)技術領域

本發明涉及晶圓磨床的設備領域，具體為一種用于晶圓磨床的對刀裝置。

(二)背景技術

現有的晶圓磨床的對刀裝置，其通過進給砂輪使得砂輪接觸傳感器座后， 將整個擺桿往下壓，然后傳感器觸頭與下部真空吸盤接觸，在整個工作過程中， 擺桿有一個彎曲變形，導致傳感器有一個垂直方向到傾斜方向的微小變形，降 低了對刀的精確度。同時，現有的對刀裝置無法對傳感器進行上下位置的調整， 使得對刀裝置的通用性低。

(三)發明內容

針對上述問題，本發明提供了一種用于晶圓磨床的對刀裝置，其能提高對 刀的精準度、提高對刀裝置的通用性。

其技術方案是這樣的：其包括傳感器、傳感器座，所述傳感器座通過側臂 連接連接塊，所述連接塊連接轉動軸，所述轉動軸連接下部的驅動機構，所述 驅動機構連接于支架，其特征在于：所述傳感器座套裝于所述側臂的安裝孔內， 所述傳感器座通過均布的帶彈簧的導桿軸向定向于所述側臂，所述連接塊支承 于在轉動軸的軸向上可調節的軸向調節結構，所述軸向調節機構連接所述轉動 軸；

其進一步特征在于：所述傳感器座帶有導桿安裝法蘭，所述導桿安裝法蘭 均布有導桿定位孔，所述側臂上端面開有與所述導桿定位孔對應的彈簧定位孔， 所述帶彈簧的導桿具體包括導桿、彈簧，所述導桿的直桿部分貫穿所述傳感器 的導桿定位孔，所述導桿的上部通過螺母緊固于所述導桿安裝法蘭上端面；

所述導桿的直桿外端套裝有所述彈簧，所述彈簧下端面低于所述導桿的下 端面，所述彈簧的上端頂裝于所述導桿安裝法蘭下端面，所述彈簧的下端頂裝 于所述彈簧定位孔的最深處；

所述彈簧定位孔為通孔，所述側臂的下端面通過螺釘緊固連接有支撐片， 所述支撐片環繞所述傳感器，所述彈簧的下端頂裝于所述支撐片的上端面；

所述側臂與所述連接塊通過螺釘和銷緊固連接；

所述軸向調節機構具體包括兩個螺母、墊塊，所述連接塊的與所述轉動軸 的連接部分開有一個開口式環形孔，所述轉動軸的上部有帶有螺紋的螺紋端， 所述兩個螺母套裝于所述螺紋端，所述轉動軸貫穿所述墊塊的安裝孔，所述墊 塊支承于所述兩個螺母中的上部螺母的上端面，所述轉動軸貫穿所述連接塊的 所述開口式環形孔，螺釘緊固連接所述開口式環形孔的開口的兩側；

所述驅動機構具體包括雙作用氣缸、連接條、連接板、襯套、軸承座、防 水罩，所述連接條緊固連接所述支架的上端部的一側面，所述雙作用氣缸通過T 形座與所述連接條緊固連接，所述雙作用氣缸的活塞頭連接所述連接板，所述 連接板通過肘接頭連接所述轉動軸，所述軸承座支承于所述支架的上端面，所 述軸承座的外部套裝有所述防水罩，所述軸承座內部安裝有所述襯套，所述轉 動軸貫穿所述軸承座內部的所述襯套。

采用本發明的上述結構后，由于所述傳感器座套裝于所述側臂的安裝孔內， 所述傳感器座通過均布的帶彈簧的導桿軸向定向于所述側臂，側臂轉動，當砂 輪接觸傳感器座后，傳感器座作用于均布的帶彈簧的導桿，彈簧壓縮后，導桿 起導向作用，帶動整個傳感器座下壓，使得傳感器的觸頭與下部真空吸盤接觸， 完成對刀，整個過程中，其下壓時，側臂不會產生垂直方向到傾斜方向的微小 變形，故提高了對刀的精確度；由于所述連接塊支承于在轉動軸的軸向上可調 節的軸向調節結構，所述軸向調節機構連接所述轉動軸，所述軸向調節結構在 所述轉動軸上的軸向調節，導致所述連接塊上下可調，進而帶動側臂上下可調， 進而傳感器可以進行上下位置調整，故對刀裝置的通用性得到提高；雙作用氣 缸的驅動機構其保證了驅動的力度和剛性，進一步保證了對刀的精準度。

(四)附圖說明

圖1是本發明的主視圖結構示意圖；

圖2是圖1的俯視圖結構示意圖(去除水槽)；

圖3是圖1的左視圖結構示意圖(去除水槽)；

圖4是圖1的A向視圖的結構示意圖(局部)；

圖5是圖3的B處局部放大圖；

圖6是圖3的C向視圖的結構示意圖(局部)。

(五)具體實施方式