[發(fā)明專利]光學(xué)系統(tǒng)的徑向調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010115133.5
• 申請日: 2010-02-26
• 公開（公告）號: CN102169219A
• 公開（公告）日: 2011-08-31
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周輝;王洪尊
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G02B7/02
• 分類號: G02B7/02;G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種用于光學(xué)系統(tǒng)的徑向調(diào)節(jié)裝置，所述光學(xué)系統(tǒng)包括基部和可動部件，所述徑向調(diào)節(jié)裝置設(shè)置所述基部與所述可動部件之間以使得所述可動部件沿徑向相對于所述基部移動，其特征在于，所述徑向調(diào)節(jié)裝置包括：

徑向驅(qū)動機(jī)構(gòu)，包括弓形彈簧體以及驅(qū)動所述弓形彈簧體的驅(qū)動電機(jī)，其中所述弓形彈簧體的一端通過固定在所述基部上，另一端與所述可動部件接觸，并且所述弓形彈簧體的弓出部分的中間位置與所述驅(qū)動電機(jī)的推桿直接接觸；并且其中當(dāng)所述驅(qū)動電機(jī)的推桿前進(jìn)時，所述弓形彈簧體的中部受到推力而發(fā)生變形，其與所述可動部件連接的一端向前伸出以形成一個徑向的張力，從而推動所述可動部件發(fā)生徑向移動；

沿所述可動部件的徑向設(shè)置的球頭柱塞，其一端固定在所述基部上的圓周面，另一端與所述可動部件接觸，其中所述球頭柱塞包括彈性體以提供所述可動部件與所述基部之間的預(yù)緊力，從而所述球頭柱塞與所述弓形彈簧體配合形成平衡，所述平衡達(dá)成所述徑向移動并且能夠回復(fù)。

2.如權(quán)利要求1所述的徑向調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述弓形彈簧體的一端通過銷釘固定所述基部上另一端直接與所述可動部件接觸。

3.如權(quán)利要求1所述的徑向調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述弓形彈簧體的軸向-徑向轉(zhuǎn)換比設(shè)為5∶1。

4.如權(quán)利要求1所述的徑向調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述球頭柱塞為內(nèi)置壓縮彈簧的緊定螺釘。

5.如權(quán)利要求3所述的徑向調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述預(yù)緊力取決于所述彈簧壓縮的距離以及剛度。

6.如前述權(quán)利要求任一項所述的徑向調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述可動部件為圓形鏡片，并且所述徑向調(diào)節(jié)裝置包括間隔120度分布的兩個徑向驅(qū)動機(jī)構(gòu)以及一個球頭柱塞。

7.如前述權(quán)利要求任一項所述的徑向調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述可動部件為圓形鏡片，并且所述徑向調(diào)節(jié)裝置包括間隔90度分布的兩個徑向驅(qū)動機(jī)構(gòu)以及兩個球頭柱塞。

8.如權(quán)利要求1所述的徑向調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，還包括使得所述可動鏡片軸向移動的軸向驅(qū)動機(jī)構(gòu)，所述軸向驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括三個沿所述可動部件的軸向設(shè)置的軸向球頭柱塞，并且受所述驅(qū)動電機(jī)的驅(qū)動。

9.如權(quán)利要求8所述的徑向調(diào)節(jié)裝置，其特征在于，所述軸向球頭柱塞的一端設(shè)在所述可動部件的下端面，另一端與所述基部接觸。