[發明專利]基于EXCEL的半導體器件測試參數six sigma 管控方法

無效

• 申請號: 201010114489.7
• 申請日: 2010-02-26
• 公開（公告）號: CN101901420A
• 公開（公告）日: 2010-12-01
• 發明（設計）人: 劉玉智
• 申請（專利權）人: 福建福順半導體制造有限公司
• 主分類號: G06Q10/00
• 分類號: G06Q10/00
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 蔡學俊

技術領域

本發明涉及一種基于EXCEL的半導體器件測試參數six?sigma?管控方法。

背景技術

在現有技術中，要進行半導體器件測試參數six?sigma?管控時，如對Delta-Vbe或Delta-Vds項規范上下限按six?sigma?管控，需要運用minitab?軟件做正態分布，得出均值與標準差；這就需要把測試后的excel?數據人為整理后復制到minitab軟件中做分析計算。這種方法不僅費時，影響產線效率，而且人員整理數據容易出錯；無法在產線上作業。

發明內容

本發明的目的在于提供一種基于EXCEL的半導體器件測試參數six?sigma管控方法，該方法不僅提高了工作效率，而且數據處理準確、可靠。

為實現上述目的，本發明的技術方案是：

一種基于EXCEL的半導體器件測試參數six?sigma?管控方法，其特征在于，按如下步驟進行：

（1）用EXCEL打開需要按six?sigma?進行管控的測試數據文檔；

（2）判斷產生所述測試數據的測試機臺類型，以選擇相適應的數據格式處理方法，利用EXCEL?VBA編程，直接在EXCEL文檔中對所述測試數據進行整理；

（3）利用EXCEL?VBA編程，直接在EXCEL文檔中計算均值、標準差、CP和CPK；

（4）利用EXCEL?VBA編程，直接在EXCEL文檔中計算管控的上下限UCL、LCL。

本發明的有益效果是實現了在EXCEL?文檔中直接計算出測試數據的均值μ、標準差σ、Cp、Cpk?值、管控上限Ucl、管控下限Lcl，以對半導體器件測試參數進行six?Sigma?管控，大大提高了工作效率，且易于在產線上直接操作，簡化了操作流程。此外，由于排除了人為因素的影響，因此，數據處理更加準確、可靠。

下面結合附圖及具體實施例對本發明作進一步的詳細說明。

附圖說明

圖1是本發明方法的工作流程圖。

具體實施方式

本發明的基于EXCEL的半導體器件測試參數six?sigma?管控方法，其特征在于，按如下步驟進行：

（1）用EXCEL打開需要按six?sigma?進行管控的測試數據文檔；。

（2）判斷產生所述測試數據的測試機臺類型，以選擇相適應的數據格式處理方法，利用EXCEL?VBA編程，直接在EXCEL文檔中對所述測試數據進行整理。在本實施例中，主要有JUNO及AMIDA兩種不同類型的測試機臺，而兩種機臺測試后的數據格式是不一樣的，因此，需要判斷所述測試數據是JUNO機臺測試數據還是AMIDA機臺測試數據，以選擇對應的數據格式處理方法，從而利用EXCEL?VBA編程，直接在EXCEL文檔中對所述測試數據中的良品數據進行整理。

（3）利用EXCEL?VBA編程，直接在EXCEL文檔中按均值?計算JUNO或AMIDA規范的均值、標準差、CP和CPK。

（4）利用EXCEL?VBA編程，直接在EXCEL文檔中計算管控的上下限UCL、LCL。

下面對均值、標準差、CP、CPK、上下限UCL、LCL的計算公式加以說明：

均值：

標準差：

Cp=(Usl-Lsl)／(6*σ)

Cpk=Cp*(1-k)????k=abs(T-μ)/(0.5*(?Usl-Lsl))

對于僅有上限的情況：Cp=Cpk=(Usl-μ)／(3*σ)

對于僅有下限的情況：Cp=Cpk=(μ-Lsl)／(3*σ)

Ucl=μ+3*σ?Lcl=μ-3*σ

Usl—規格上限值，?Lsl—規格下限值；

T?即為理想狀態下的期望值，一般取規范的中心值T=0.5*(Usl+Lsl)。

以上是本發明的較佳實施例，凡依本發明技術方案所作的改變，所產生的功能作用未超出本發明技術方案的范圍時，均屬于本發明的保護范圍。