[發明專利]準分子燈

有效

• 申請號: 201010113278.1
• 申請日: 2010-02-04
• 公開（公告）號: CN101840839A
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發明（設計）人: 森本幸裕;松澤聰司
• 申請（專利權）人: 優志旺電機株式會社
• 主分類號: H01J65/00
• 分類號: H01J65/00;H01J61/12;H01J61/16
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 謝麗娜;關兆輝

技術領域

本發明涉及到一種準分子燈，其通過使用包含有氪氣、氣體碘和氙氣的放電氣體作為放電介質來高效地放射出300～380nm的波長區域的紫外光。

背景技術

在液晶顯示器的制造工序中，采用了下述技術(PSA：PolymerSustained?Alignment(聚合物穩定取向))：在構成液晶的像素時在液晶中混入單體，通過在使液晶分子傾斜的狀態下使單體聚合，從而使液晶分子的傾斜方向固定。根據對PSA進行公開的專利文獻1，作為用于使單體聚合的光源，考慮到對液晶的損害較小、單體的靈敏度、液晶用玻璃的透光率等，優選對單體照射例如波長在300～380nm的紫外光(專利文獻1的段落0237)。

已知有很多種放射出使單體聚合所需的波長為300～380nm的紫外光的紫外線光源，但是當前處于集中研究最合適于PSA用途的光源的階段。例如，以水銀為放電介質主要放射出波長為365nm的紫外光的水銀燈、以金屬鹵化物為放電介質的金屬鹵化物燈等被作為PSA用途的候補光源。

然而，水銀燈在搭載有多個水銀燈以構成紫外線照射裝置的情況下存在紫外線照射裝置大型化的問題，此外，由于以水銀作為放電介質，因此存在對環境的負荷較大的缺點。金屬鹵化物燈存在與投入電力相比紫外線的輸出較低的能量效率方面的問題，此外，由于是以鹵化金屬作為放電介質，因此對環境的惡劣影響也不能忽視。

準分子燈在搭載多個準分子燈以構成紫外線照射裝置的情況下能夠使紫外線照射裝置比較小型化，并且由于與投入電力相比，所放射的紫外線的輸出較高，因此能量效率優良，而且，采用氙氣、氪氣等稀有氣體作為放電介質使用，因此對環境的負荷較小。由于上述實用方面的優點明顯，因此有希望被看作是PSA用的光源。

準分子燈以往主要是作為通過對液晶基板等被處理物的表面照射真空紫外線來使被處理物的表面改質的光源使用，然而在PSA用途下使單體聚合所需的波長為300～380nm的波長區域的紫外光的輸出并不充分。

專利文獻1：日本特開2003-149647號公報

發明內容

根據上述內容，本發明的目的在于提供一種準分子燈，為了提供適合于PSA用途的光源，其能夠高效地放射出使單體聚合所需的波長為300～380nm的波長區域的紫外光。

為了解決上述課題，第一發明所述的準分子燈具有：其具有：封入有包括氪氣、氣體碘和氙氣的放電氣體的放電容器；以及以隔著形成于所述放電容器的內部的放電空間相對的方式配置的一對電極，在所述放電空間中產生以下雙方的光：碘的準分子I₂^*發出的峰值波長在342nm附近的光、以及氙Xe和碘I的化合物的準分子XeI^*發出的峰值波長在320nm附近的光。

第二發明所述的準分子燈具有：封入有包括氪氣、氣體碘和氙氣的放電氣體的放電容器；以及以隔著形成于所述放電容器的內部的放電空間相對的方式配置的一對電極，所述氙氣的濃度為0.05～2.0％。

在第二發明所述的準分子燈的基礎上，第三發明所述的準分子燈的所述氙氣的濃度為0.2～2.0％。

在第一發明或者第二發明所述的準分子燈的基礎上，在第四發明所述的準分子燈中，所述放電氣體的整體壓強為40～133kPa。

根據第一發明所述的準分子燈，通過將包括氪氣、氣體碘和氙氣的放電氣體作為放電介質封入，在所述放電空間中產生有碘的準分子I₂^*發出的峰值波長在342nm附近的光、以及氙Xe和碘I的化合物的準分子XeI^*發出的峰值波長在320nm附近的光，因此能夠提高在PSA用途下使單體聚合所需的300～380nm的波長區域的紫外光的輸出。

根據第二發明所述的準分子燈，通過將包括氪氣、氣體碘和氙氣的放電氣體作為放電介質封入，并規定氙氣的濃度為0.05～2.0％，能夠提高在PSA用途下使單體聚合所需的300～380nm的波長區域的紫外光的輸出。

根據第三發明所述的準分子燈，在第二發明的準分子燈的基礎上，規定所述氙氣的濃度為0.05～2.0％，因此，能夠進一步提高在PSA用途下使單體聚合所需的300～380nm的波長區域的紫外光的輸出。

根據第四發明所述的準分子燈，在第一發明或者第二發明的準分子燈的基礎上，使放電氣體的整體壓強為40～133kPa，因此，能夠提高在PSA用途下使單體聚合所需的300～380nm的波長區域的紫外光的輸出。

附圖說明

圖1是示出本發明的準分子燈的結構的概要的管軸方向的剖視圖。