[發明專利]一種用于大功率板條激光器的微結構復合相變冷卻集成系統

無效

• 申請號: 201010113048.5
• 申請日: 2010-02-24
• 公開（公告）號: CN102163788A
• 公開（公告）日: 2011-08-24
• 發明（設計）人: 徐靖中
• 申請（專利權）人: 北京中科光?？萍加邢挢熑喂?/a>
• 主分類號: H01S3/042
• 分類號: H01S3/042;H01S5/024
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種新型的大功率板條激光器的復合相變冷卻集成系統，其特征在于：所述的大功率板條激光器復合相變冷卻集成系統，其板條激光工作介質為特殊工藝加工制成的光熱晶體組合件；其復合相變冷卻系統由微槽群蒸發器、微溝槽冷凝器，TEC熱電模塊，薄膜溫度傳感器，熱控子系統，連接管道及空冷外散熱子系統等部件組成。復合相變冷卻系統對光熱晶體組合件進行“有效散熱”冷卻。

2.根據權利要求1所述的大功率板條激光器復合相變冷卻集成系統，其特征在于所述的光熱晶體組合件由板條激光晶體及高熱導晶片組合而成。板條激光晶體和高熱導晶片厚度在0.5～1.5mm，板條激光晶體兩個大面與高熱導晶片緊密貼合，高熱導晶片與板條激光晶體貼合面的面積比大于2。光熱晶體組合件外表面集成有薄膜溫度傳感器。

3.根據權利要求1所述的大功率板條激光器復合相變冷卻集成系統，其特征在于所述的微槽群蒸發器，其蒸發表面為結構為各種截面形狀的微槽群，截面形狀包括三角形、矩形、梯形及可加工成型的其他截面形狀，界面形狀的特征尺度在0.2～1.0mm之間。微槽群蒸發器內設置有儲液槽。

4.根據權利要求1所述的大功率板條激光器復合相變冷卻集成系統，其特征在于所述的微溝槽冷凝器工作表面由梯形截面微肋片間隔排列組成，微肋片之間形成微溝槽。

5.根據權利要求1所述的大功率板條激光器復合相變冷卻集成系統，其特征在于所述的TEC熱電模塊用導熱膠緊貼微溝槽冷凝器凝結面的外側表面，凝結面外側表面集成有薄膜溫度傳感器。

6.根據權利要求1所述的大功率板條激光器復合相變冷卻集成系統，其特征在于所述的熱控子系統由控制電路板及設置于光熱晶體組合件表面和微溝槽冷凝器冷凝表面的薄膜溫度傳感器組成?？刂齐娐钒甯鶕鉄峤M合件及微溝槽冷凝器冷凝表面薄膜溫度傳感器測到的溫度值對TEC制冷模塊實施制冷功率控制。

7.根據權利要求1所述的大功率板條激光器復合相變冷卻集成系統，其特征在于所述的空冷外散熱子系統由翅片散熱器及風扇組成。翅片散熱器平面通過導熱膠與TEC熱電模塊的散熱面緊貼，冷凝器內凝結熱通過翅片散熱器和風扇散入周圍大氣環境。

8.根據權利要求1所述的大功率板條激光器復合相變冷卻集成系統，其特征在于本發明不僅可以用于側面泵浦大功率板條(slab)激光器，而且可以方便地應用于大功率薄片(disk)激光器和大功率半導體激光器。其所形成的專利與本發明相類同者，均落入本發明專利保護范圍。