[發(fā)明專利]探針卡及用于該探針卡的印刷電路板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010111561.0
• 申請日: 2010-02-11
• 公開（公告）號: CN102156205A
• 公開（公告）日: 2011-08-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蘇文彬;謝昭平;簡志忠;張庚生;張嘉泰;林書侃;黃千惠;張忠義;何家齊
• 申請（專利權(quán)）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11240
• 代理人: 吳貴明

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種探針卡，尤其涉及一種電源完整性好的探針卡；本發(fā)明還涉及一種用于該探針卡的印刷電路板。

背景技術(shù)

在晶圓或電子元件進(jìn)行測試時，測試機(jī)可以一探針卡(probecard)作為媒介，將測試訊號自該探針卡輸入至一待測物(deviceunder?test，簡稱DUT)，并通過該探針卡將測試結(jié)果回傳至測試機(jī)以進(jìn)行后續(xù)的檢測、分析。

以晶圓測試為例，受限于測試機(jī)的體積、價格等因素，半導(dǎo)體廠對待測物進(jìn)行測試時，通常只能利用數(shù)量、型號有限的測試機(jī)臺予以測試。由于待測物的測試規(guī)格、種類、數(shù)量彼此相異，在測試機(jī)受限的情況下，測試機(jī)無法滿足各種不同工藝或是不同種類待測物的測試條件。因此，現(xiàn)有技術(shù)是通過測試機(jī)內(nèi)部的程序變化，或是針對探針卡進(jìn)行改造，借以獲取、擴(kuò)充更多的測試兼容性。

現(xiàn)有探針卡的印刷電路板如圖1所示，該印刷電路板1部分主要可區(qū)分為輸入?yún)^(qū)2、走線區(qū)3與焊點(diǎn)區(qū)4三大區(qū)域，其中探針卡的多個探針(圖中未示)可固設(shè)于焊點(diǎn)區(qū)4的對應(yīng)焊點(diǎn)或接點(diǎn)。輸入?yún)^(qū)2包含多個數(shù)組排列的焊墊5，該些焊墊5包含電源焊墊(powerpad)，藉以讓測試機(jī)提供電源輸入。該些電源焊墊通過走線區(qū)3內(nèi)的金屬布線進(jìn)行空間轉(zhuǎn)換，并電性連接至焊點(diǎn)區(qū)4相對應(yīng)的電源焊墊或電源環(huán)(power?ring)，以供應(yīng)該些探針電源。其中，走線區(qū)3內(nèi)不同區(qū)域或分層的電源金屬布線定義為不同的電源平面(powerplane)，且由于印刷電路板1包含多組電源焊墊，因此亦相對應(yīng)包含多個電源平面。

探針卡的印刷電路板為一多層結(jié)構(gòu)，包含上述多個電源平面的分層，以及接地層與訊號層等。由于每一電源平面在走線區(qū)須利用一層或多層進(jìn)行布線(layout)，使得電源平面容易因?yàn)榇佣a(chǎn)生結(jié)構(gòu)上的缺陷，亦或是金屬導(dǎo)線為了閃避密布于印刷電路板上且貫穿印刷電路板的訊號焊點(diǎn)，而使金屬導(dǎo)線的布線路徑過于復(fù)雜。所以，自電源焊墊輸入的電源傳經(jīng)走線區(qū)的電源平面時，常常發(fā)生電壓下降(voltage?drop)或產(chǎn)生噪聲干擾，如此將影響電源傳抵探針的完整性，導(dǎo)致測試誤差進(jìn)而影響測試結(jié)果。另一方面，電源平面受限其布線于印刷電路板中，因此線路固定而擴(kuò)充性不好，無法滿足客戶端多元的測試需求；若欲增加電源平面的數(shù)目，則須提升印刷電路板的布線層數(shù)，不僅實(shí)際操作上有難度，更將提升整體成本支出而有待解決。

發(fā)明內(nèi)容

為此，發(fā)明的目的在于解決上述問題，進(jìn)而提出一種電源完整性較好的探針卡，以避免來自測試機(jī)的電源供應(yīng)發(fā)生過度的電源下降或噪聲干擾；

本發(fā)明的另一目的在于提出一種電源平面可客制化、可隨需求更替使用的探針卡。

為了實(shí)現(xiàn)前述目的，本發(fā)明將探針卡的電源平面獨(dú)立于印刷電路板外，并利用外接導(dǎo)線或外接電源平面的方式，使直流電源供應(yīng)(power?supply)自輸入?yún)^(qū)傳抵焊點(diǎn)區(qū)。本發(fā)明提出一種用于探針卡的印刷電路板，該印刷電路板定義一焊點(diǎn)區(qū)、一走線區(qū)以及一輸入?yún)^(qū)；該焊點(diǎn)區(qū)包含多個第一電源焊墊組，該輸入?yún)^(qū)包含對應(yīng)該些第一電源焊墊組的多個第二電源焊墊組，且該些第一電源焊墊組絕緣于該些第二電源焊墊組。

在上述一實(shí)施例中，本發(fā)明提出一種應(yīng)用上述印刷電路板的探針卡，該探針卡包含至少一外接導(dǎo)線，該外接導(dǎo)線可電性連接第一電源焊墊組與第二電源焊墊組以供應(yīng)電源。

在上述的另一實(shí)施例中，本發(fā)明提出一種應(yīng)用上述印刷電路板的探針卡，該探針卡包含至少一外接電源平面，該外接電源平面可電性連接第一電源焊墊組與第二電源焊墊組以供應(yīng)電源。

由于以外接導(dǎo)線或外接電源平面可避免電源因印刷電路板內(nèi)的分層或布線而衰減，因此可以保持較好的電源完整性，并進(jìn)而增進(jìn)測試的準(zhǔn)確度。另一方面，由于外接電源平面可客制化，可依需求更換，因此其兼容性高，可節(jié)省測試廠商的成本支出。有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)技術(shù)內(nèi)容及優(yōu)選實(shí)施例，配合附圖說明如后。

附圖說明

本發(fā)明的實(shí)施例是結(jié)合附圖予以描述：

圖1為現(xiàn)有探針卡的一印刷電路板示意圖；

圖2-1為本發(fā)明一印刷電路板一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2-2為本發(fā)明一印刷電路板一實(shí)施例的剖面示意圖；

圖3-1為本發(fā)明一探針卡實(shí)施例的俯視示意圖；

圖3-2為本發(fā)明一探針卡實(shí)施例的截面示意圖；

圖4-1為本發(fā)明另一探針卡實(shí)施例的俯視示意圖；

圖4-2為本發(fā)明另一探針卡實(shí)施例的截面示意圖；

圖5為本發(fā)明一外接電源平面實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6-1為本發(fā)明一外接電源平面用于一探針卡的截面示意圖；