[發(fā)明專利]升降裝置及具有該裝置的半導(dǎo)體器件加工設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010110583.5
• 申請(qǐng)日: 2010-02-09
• 公開（公告）號(hào): CN102148176A
• 公開（公告）日: 2011-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張小昂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/683;H01L21/00
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 張?zhí)焓?陳源

1.一種升降裝置，用于升降用以支撐器件的升降針，其包括：中心導(dǎo)桿、具有中空結(jié)構(gòu)的安裝法蘭、空心套筒和波紋管，所述中心導(dǎo)桿的頂部設(shè)置有用于安插升降針的升降針容納槽，所述安裝法蘭的下部連接所述空心套筒，所述波紋管置于空心套筒內(nèi)并且頂部固定在安裝法蘭的底面，其特征在于：

所述升降裝置還包括至少兩個(gè)具有中空結(jié)構(gòu)的中心導(dǎo)桿約束部，其中的第一約束部設(shè)置在安裝法蘭的中空部分內(nèi)且其外壁與安裝法蘭的內(nèi)壁緊密配合；第二約束部設(shè)置在空心套筒內(nèi)的下部區(qū)域且其外壁與所述空心套筒的內(nèi)壁緊密配合；所述中心導(dǎo)桿沿軸向依次貫穿所述第一約束部、波紋管和第二約束部，并且中心導(dǎo)桿與所述第一約束部和第二約束部的內(nèi)壁緊密配合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降裝置，其特征在于，所述中心導(dǎo)桿一體成型。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降裝置，其特征在于，所述中心導(dǎo)桿的側(cè)面上形成有與升降針容納槽的底部相連通的貫通孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降裝置，其特征在于，所述安裝法蘭的筒狀內(nèi)壁上開設(shè)有沿軸向貫穿內(nèi)壁的抽氣槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降裝置，其特征在于，還包括第一約束部擋圈，其設(shè)置在安裝法蘭的中空部分內(nèi)并位于所述第一約束部的頂部，以阻擋所述第一約束部在軸向上的運(yùn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降裝置，其特征在于，所述空心套筒內(nèi)的下部區(qū)域設(shè)置有限位臺(tái)肩，所述第二約束部位于所述限位臺(tái)肩的下方且頂部與所述限位臺(tái)肩相抵。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的升降裝置，其特征在于，還包括第二約束部擋圈，其設(shè)置在空心套筒內(nèi)并位于所述第二約束部的底部，以阻擋所述第二約束部在軸向上的運(yùn)動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降裝置，其特征在于，在所述中心導(dǎo)桿上設(shè)置驅(qū)動(dòng)力接受部，對(duì)應(yīng)于驅(qū)動(dòng)力接受部的位置以及波紋管的行程而在所述空心套筒上開設(shè)驅(qū)動(dòng)槽口，使來自驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)力經(jīng)由該升降裝置側(cè)面開設(shè)的驅(qū)動(dòng)槽口而施加到驅(qū)動(dòng)力接受部，以驅(qū)動(dòng)中心導(dǎo)桿上升或下降。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的升降裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)力接受部設(shè)置在波紋管段空心套筒內(nèi)的中心導(dǎo)桿上，并且位于所述波紋管的下方，所述驅(qū)動(dòng)槽口相應(yīng)地開設(shè)于波紋管段空心套筒。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的升降裝置，其特征在于，所述第一約束部和/或第二約束部為直線軸承。

11.一種半導(dǎo)體器件加工設(shè)備，包括：

器件支撐部，所述器件支撐部用于支撐所述半導(dǎo)體器件；

至少三個(gè)根據(jù)權(quán)利要求1所述的升降裝置，所述升降裝置可升降用于支撐所述半導(dǎo)體器件的升降針；以及

驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述升降裝置以進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的加工設(shè)備，其特征在于，所述升降裝置支撐的升降針可沿軸線貫穿所述器件支撐部。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的加工設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置為驅(qū)動(dòng)氣缸，所述驅(qū)動(dòng)氣缸驅(qū)動(dòng)所述升降裝置的中心導(dǎo)桿及波紋管以進(jìn)行升降運(yùn)動(dòng)。

14.根據(jù)權(quán)利要求11至13中任意一項(xiàng)所述的加工設(shè)備，其特征在于，所述器件支撐部為靜電卡盤。