[發(fā)明專利]激光加工方法、激光加工裝置以及太陽能電池板制造方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010110155.2
• 申請日: 2010-01-26
• 公開（公告）號: CN101811229A
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 荒木正樹;下田勇一
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立高科技
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;H01L31/18
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

1.一種激光加工方法，將激光束分叉為多條激光束，使分叉的多條激 光束對工件一面進行相對移動一面進行照射，由此來對工件實施規(guī)定的加 工，所述激光加工方法的特征在于：

在所述激光束的分叉前的光路中配置相位型衍射光學(xué)元件機構(gòu)，將所 述激光束轉(zhuǎn)換為頂帽形強度分布，且以轉(zhuǎn)換后的多條激光束照射至所述工 件為止的各光路長度相同的方式，來將所述激光束分叉為多條激光束而對 所述工件進行照射；

使用由半反光鏡及反射鏡構(gòu)成的分叉機構(gòu)來將激光束分叉為多條激光 束，使用所述分叉機構(gòu)，將垂直朝向所述工件的加工面的垂直激光束分叉 為多條激光束，并且以所述垂直激光束的前進方向為中心軸而使所述分叉 機構(gòu)旋轉(zhuǎn)，由此，對所述激光束的分叉方向與所述激光束的對所述工件的 相對移動方向所構(gòu)成的角度進行可變控制，

在對所述工件照射轉(zhuǎn)換為頂帽形強度分布后的激光束，并且所述激光 束的分叉方向與所述激光束的相對移動方向所構(gòu)成的角度受到旋轉(zhuǎn)控制的 情況下，使得所述相位型衍射光學(xué)元件機構(gòu)不相對于所述激光束的相對移 動方向而旋轉(zhuǎn)。

2.一種激光加工裝置，將激光束分叉為多條激光束，使分叉的多條激 光束對保持機構(gòu)所保持的工件一面進行相對移動一面進行照射，由此來對 工件實施規(guī)定的加工，所述激光加工裝置的特征在于包括：

相位型衍射光學(xué)元件機構(gòu)，設(shè)置在所述激光束的分叉前的光路中，將 所述激光束轉(zhuǎn)換為頂帽形強度分布；以及

分叉機構(gòu)，以由所述相位型衍射光學(xué)元件機構(gòu)轉(zhuǎn)換的多條激光束照射 至所述工件為止的各光路長度相同的方式，來將所述激光束分叉為多條激 光束而對所述工件進行照射，

所述分叉機構(gòu)使用半反光鏡及反射鏡來將垂直朝向所述工件的加工 面的垂直激光束分叉為多條激光束，

所述激光加工裝置更包括：

控制機構(gòu)，使由所述分叉機構(gòu)分叉的多條激光束對所述保持機構(gòu)所 保持的工件一面進行相對移動一面進行照射，由此來對工件實施規(guī)定的 加工；以及

旋轉(zhuǎn)控制機構(gòu)，以所述垂直激光束的前進方向為中心軸來對所述分 叉機構(gòu)進行旋轉(zhuǎn)控制，由此，對所述激光束的分叉方向與所述激光束的 對所述工件的相對移動方向所構(gòu)成的角度進行可變控制，

在對所述工件照射由所述相位型衍射光學(xué)元件機構(gòu)進行轉(zhuǎn)換后的激 光束，并且所述激光束的分叉方向與所述激光束的相對移動方向所構(gòu)成 的角度受到旋轉(zhuǎn)控制的情況下，所述相位型衍射光學(xué)元件機構(gòu)不會相對 于所述激光束的相對移動方向而旋轉(zhuǎn)。

3.一種太陽能電池板制造方法，其特征在于：

使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工方法、或者根據(jù)權(quán)利要求2所 述的激光加工裝置來制造太陽能電池板。