[發明專利]一種提高低輻射鍍膜玻璃生產效率的方法無效
| 申請號： | 201010107683.2 | 申請日： | 2010-02-10 |
| 公開（公告）號： | CN101786800A | 公開（公告）日： | 2010-07-28 |
| 發明（設計）人： | 郭明;王秀麗;孟怡敏 | 申請（專利權）人： | 洛陽新晶潤工程玻璃有限公司 |
| 主分類號： | C03C17/22 | 分類號： | C03C17/22 |
| 代理公司： | 鄭州中民專利代理有限公司 41110 | 代理人： | 郭中民 |
| 地址： | 471003 河南省洛*** | 國省代碼： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 提高 輻射 鍍膜 玻璃 生產 效率 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種提高低輻射鍍膜玻璃生產效率的方法，其特征是：在低輻射鍍膜玻璃生產時，在鍍膜室分別充入氮氣和氬氣，使總氣體流量為0.5-2升/分鐘，其中氮氣占總量的40％-90％，氬氣占總量的10％-60％，硅靶送電，開始濺射，玻璃從硅靶下通過，氮化硅就沉積在玻璃表面，形成氮化硅膜層。
2.根據權利要求1所述的一種提高低輻射鍍膜玻璃生產效率的方法，其特征是：所述鍍膜室分別充入氮氣和氬氣，總氣體流量為0.8-1.8升/分鐘，其中氮氣占總量的50％-80％，氬氣占總量的20％-50％。
3.根據權利要求1所述的一種提高低輻射鍍膜玻璃生產效率的方法，其特征是：所述鍍膜室分別充入氮氣和氬氣，總氣體流量為1.0-1.6升/分鐘，其中氮氣占總量的60％-80％，氬氣占總量的20％-40％。
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