[發明專利]光譜儀雜散光校正方法

有效

• 申請號: 201010107630.0
• 申請日: 2010-02-02
• 公開（公告）號: CN101813519A
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發明（設計）人: 潘建根;陳雙;李倩
• 申請（專利權）人: 杭州遠方光電信息有限公司
• 主分類號: G01J3/02
• 分類號: G01J3/02;G01J3/28
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 林寶堂

1.一種光譜儀雜散光校正方法，其特征在于在光譜儀的光信號采集裝置和色散元件(4)之間設置可切入光路的一個以上濾色片(6)，且包括以下步驟：

a)在不切入所述濾色片(6)時測量待測光源的光譜功率；

b)將濾色片(6)切入到入射狹縫和色散元件之間的光路上，測量同一待測光源的光譜功率；

c)根據步驟a)和步驟b)的測量結果計算得到第二雜散光分布因子或雜散光校正因子；

d)用所述雜散光分布因子或雜散光校正因子修正不切入上述濾色片(6)時測得的該待測光源或其它與待測光源具有相似光譜功率分布的同類光源的光譜功率 ；

在所述的步驟a)之前或者在所述的步驟d)之后，使用一個以上波長在所述的濾色片(6)的通光波段內的激光校正雜散光，其步驟為：

1)在切入或不切入所述濾色片(6)的條件下用光譜儀分別測量所述的一個以上波長激光，得到激光在光譜儀不同波長位置的雜散光分布功率，計算激光對應波長的光輻射在其它各波長產生雜散光的第一雜散光分布因子；

2)根據該光譜儀測得的任一待測光源的光譜功率和第一雜散光分布因子，積分計算出各波長上接收的雜散光功率，所測光譜功率減去各波長上的雜散光功率得到經過雜散光校正光譜功率。

2.根據權利要求1所述的光譜儀雜散光校正方法，其特征在于：所述的濾色片(6)中包括一個以上長通濾色片(6-1)，各長通濾色片(6-1)的截止波長將光譜儀的測量波段分為若干個子波段，根據切入各長通濾色片(6-1)和不切入長通濾色片(6-1)時測量同一待測光源的光譜功率，計算每個截止波長之前的子波段內的雜散光功率分布，并與不切入長通濾色片(6-1)時測量的該子波段的光譜功率相比，得到截止波長之前的子波段內的第二雜散光分布因子；將不切入長通濾色片(6-1)時的光譜功率測量值減去其與第二雜散光分布因子的乘積，得到經過雜散光修正的光譜功率。

3.根據權利要求1或2所述的光譜儀雜散光校正方法，其特征在于：所述的濾色片(6)中包括一個以上短通濾色片(6-2)和/或帶通濾色片(6-3)，將在切入短通濾色片和/或帶通濾色片下測得的待測光源的光譜功率除以不切入短通濾色片或帶通濾色片時測得的同一待測光源的光譜功率，得到該波段雜散光校正因子；不切入所述短通濾色片(6-2)或帶通濾色片(6-3)時的光譜功率測量值乘以雜散光校正因子，得到經過雜散光校正的光譜功率。

4.根據權利要求1所述的光譜儀雜散光校正方法，其特征在于：在步驟d)中，用所述的第二雜散光分布因子或雜散光校正因子修正在不加上述濾色片的條件下測量的與所述待測光源具有相似光譜功率分布的同類光源。?

5.根據權利要求1或2所述的光譜儀雜散光校正方法，其特征在于：采用定標光源對光譜儀定標時，先測量和計算出相應的雜散光分布因子，并用來校正光譜儀對定標光源的光譜響應值，得到校正的光譜響應，利用校正的光譜響應定標光譜儀的光譜靈敏度。

6.一種光譜儀雜散光校正方法，其特征在于在光譜儀的光信號采集裝置(1)和色散元件(4)之間設置可切入光路的一個以上濾色片(6)，所述濾色片(6)中包括導通波段在光譜儀的測量波段以外的濾色片，且包括以下步驟：

a)在切入或者不切入所述濾色片(6)的條件下使用光譜儀測量一束或多束功率和波長已知的帶外激光，所述帶外激光的對應波長在光譜儀的測量波段之外，得到帶外激光在光譜儀不同波長位置的雜散光分布功率，計算帶外激光對應波長的光輻射在光譜儀測量波段內各波長處產生雜散光的雜散光分布因子；

b)根據切入所述導通波段在光譜儀測量波段以外的濾色片(6)時測得的待測光源的光譜功率和所述雜散光分布因子，推算待測光源在光譜儀測量波段以外的光譜功率；

c)根據所述雜散光分布因子和待測光源在光譜儀測量波段以外的光譜功率計算待測光源在光譜儀測量波段外的光輻射在光譜儀測量波段內的各波長處產生的雜散光功率，不切入所述濾色片(6)時測得的待測光源或與待測光源具有相似光譜功率分布的同類光源的光譜功率減去上述各波長的雜散光功率，校正光譜儀測量波段外的光輻射帶來的雜散光誤差。