[發(fā)明專利]觀察窗擋板裝置及具有該觀察窗擋板裝置的腔體觀察窗在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010107551.X | 申請日: | 2010-01-29 |
| 公開(公告)號: | CN101831610A | 公開(公告)日: | 2010-09-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 楊明生;劉惠森;范繼良;葉宗鋒;郭遠(yuǎn)倫;王曼媛;王勇 | 申請(專利權(quán))人: | 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202 | 代理人: | 張艷美;郝傳鑫 |
| 地址: | 523018 廣東省東莞南城區(qū)*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 觀察窗 擋板 裝置 具有 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及真空腔機(jī)械領(lǐng)域,特別涉及一種觀察窗擋板裝置及具有該觀察窗擋板裝置的腔體觀察窗。
背景技術(shù)
真空或高真空蒸鍍過程中,需要對真空腔體內(nèi)部蒸鍍情況進(jìn)行觀察,腔體外連接有觀察窗,觀察窗一般為一玻璃塊。
但由于腔體內(nèi)存在污染源,該污染然擴(kuò)散到玻璃塊上會降低玻璃塊的能見度,影響觀察效果。
因此,急需一種觀察窗擋板裝置,使到當(dāng)不需要觀察時把玻璃塊與腔體隔絕,從而保持玻璃塊觀察時的清晰度。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種觀察窗擋板裝置,包括擋板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)以及擋板,所述擋板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括法蘭座、中心軸、內(nèi)磁體固定環(huán)、外磁體固定環(huán)以及具有一腔體的隔套,所述隔套固接于所述法蘭座上,所述法蘭座開設(shè)有貫通自身的第一通孔,所述中心軸插設(shè)于所述第一通孔中并且所述中心軸兩端伸出所述法蘭座,所述中心軸的兩端分別為磁體承載端以及固接所述擋板的擋板承載端,所述磁體承載端容置于所述腔體內(nèi),所述內(nèi)磁體固定環(huán)固接于所述磁體承載端上,所述擋板固接于所述擋板承載端上,所述內(nèi)磁體固定環(huán)上至少固接有兩個內(nèi)磁體,所述外磁體固定環(huán)旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于所述隔套上,所述外磁體固定環(huán)對應(yīng)所述內(nèi)磁體處固接若干個與所述內(nèi)磁體極性相反的外磁體。
所述法蘭座包括法蘭基座以及與所述法蘭基座固接的凸筒,所述第一通孔貫穿所述基座以及所述凸筒。
所述隔套包括隔套基座以及與所述隔套基座固接的凸軸,所述腔體開設(shè)于所述隔套基座內(nèi)。
所述隔套螺釘固接于所述法蘭座上,所述法蘭座與所述隔套之間設(shè)有密封圈。
所述磁體承載端外側(cè)開設(shè)有插槽,所述內(nèi)磁體固定環(huán)固套于所述插槽上。
所述凸軸上固套有軸承,所述外磁體固定環(huán)固套于所述軸承上從而使所述外磁體固定旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于所述隔套上。
本發(fā)明還提供一種腔體觀察窗,包括具有通孔的法蘭組合、玻璃體、連接管、以及觀察窗擋板裝置,所述玻璃體嵌設(shè)于所述法蘭組合的外端,所述法蘭組合的內(nèi)端與所述連接管的一端固接,所述連接管的另一端與腔體接通,所述觀察窗擋板裝置固設(shè)于所述法蘭組合上,所述觀察窗擋板裝置包括擋板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)以及擋板,所述擋板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括法蘭座、中心軸、內(nèi)磁體固定環(huán)、外磁體固定環(huán)以及具有一腔體的隔套,所述隔套固接于所述法蘭座上,所述法蘭座開設(shè)有貫通自身的第一通孔,所述中心軸插設(shè)于所述通孔中并且所述中心軸兩端伸出所述法蘭座,所述中心軸的兩端分別為磁體承載端以及固接所述擋板的擋板承載端,所述磁體承載端容置于所述腔體內(nèi),所述內(nèi)磁體固定環(huán)固接于所述磁體承載端上,所述擋板固接于所述擋板承載端上,所述內(nèi)磁體固定環(huán)上至少固接有兩個內(nèi)磁體,所述外磁體固定環(huán)旋轉(zhuǎn)的套設(shè)于所述隔套上,所述外磁體固定環(huán)對應(yīng)所述內(nèi)磁體處固接若干個與所述內(nèi)磁體極性相反的外磁體,所述通孔對應(yīng)所述玻璃體的內(nèi)側(cè)具有與所述擋板形狀大小匹配的擋孔部分,所述擋板承載端伸進(jìn)所述法蘭組合對應(yīng)所述擋孔部分與腔體之間的通孔,所述擋板閉合時擋住所述擋孔部分。
所述法蘭組合包括第一法蘭、第二法蘭以及第三法蘭,所述第二法蘭一端固接所述第一法蘭,另一端與所述第三法蘭的一端固接,所述擋孔部分設(shè)于所述第二法蘭內(nèi),所述觀察窗擋板裝置固設(shè)于所述第二法蘭上,所述擋板承載端伸到所述第二法蘭對應(yīng)所述擋孔部分與腔體之間的通孔。
所述玻璃體嵌設(shè)于所述第一法蘭內(nèi)以擋住所述通孔,所述第一法蘭、第二法蘭對應(yīng)所述玻璃體的邊緣的兩側(cè)分別延伸有第一凸緣、第二凸緣,所述第一凸緣與所述玻璃體之間設(shè)有密封圈,所述第二凸緣與所述玻璃體之間設(shè)有密封圈以及中心環(huán),所述密封圈設(shè)于第一法蘭的內(nèi)壁以及所述中心環(huán)之間并抵頂所述第一法蘭的內(nèi)壁以及所述中心環(huán)。
所述第二凸緣之間形成所述擋孔部分,所述中心軸的擋板承載端伸進(jìn)第二法蘭對應(yīng)所述第二凸緣與腔體之間的通孔。
與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明觀察窗擋板裝置的擋板設(shè)于觀察窗玻璃體與腔體之間的通孔處,不需要觀察時,旋轉(zhuǎn)擋板擋住通孔,防止玻璃體被腔體內(nèi)的污染源污染而影響觀察效果。
通過以下的描述并結(jié)合附圖,本發(fā)明將變得更加清晰,這些附圖用于解釋本發(fā)明的實(shí)施例。
附圖說明
圖1為本發(fā)明腔體觀察窗與腔體連通的剖視示意圖。
圖2為本發(fā)明腔體觀察窗的剖視結(jié)構(gòu)圖。
圖3為圖1中沿剖面線A-A的剖視圖。
圖4為本發(fā)明觀察窗擋板裝置的剖視結(jié)構(gòu)圖。
圖5為本發(fā)明觀察窗擋板裝置的擋板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的剖視示意圖。
圖6為圖5所示擋板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的法蘭基座的剖視示意圖。
圖7為圖5所示擋板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的隔套的剖視示意圖。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





