[發明專利]一種四氯化硅進料增壓系統及其增壓方法

有效

• 申請號: 201010107135.X
• 申請日: 2010-02-09
• 公開（公告）號: CN101905949A
• 公開（公告）日: 2010-12-08
• 發明（設計）人: 薛濟萍;沈一春;朱兆章;薛馳;謝康;莊衛星;陳京京
• 申請（專利權）人: 中天科技精密材料有限公司
• 主分類號: C03B37/012
• 分類號: C03B37/012
• 代理公司: 南京君陶專利商標代理有限公司 32215
• 代理人: 奚勝元

技術領域

本發明一種四氯化硅進料增壓系統及其增壓方法涉及的是一種光纖預制件制造領域，用這種方法為生產光纖預制件時原料四氯化硅進料增壓，尤其是通過增加一套增壓系統，實現遠距離送料的方法。

背景技術

目前一般光纖預制件制造中的四氯化硅持續進料方法，是通過兩個四氯化硅原料儲罐之間的相互切換來實現。當一個四氯化硅原料儲罐內的四氯化硅用完時，自動切換至另一個四氯化硅原料儲罐進行送料，同時對空的四氯化硅儲罐進行更換或充裝四氯化硅。

這種方法盡管能夠保持SiCl₄的連續進料，但是該方法也具有下述的某些缺點：由于國際標準的四氯化硅原料儲罐的耐壓為4KPa，當通過四氯化硅原料儲罐直接壓料至沉積設備時，由于壓損的存在，四氯化硅原料儲罐至沉積設備的距離則受到限制，不能遠距離送料，管道末端的沉積設備四氯化硅的進料壓力會不穩定，從而影響光纖預制件的質量。

發明內容

本發明的目的是針對上述不足之處，提供一種四氯化硅進料增壓系統及其增壓方法，解決由于四氯化硅原料儲罐壓力不夠，不能實現遠距離送料且送料壓力不穩定的問題。

本發明一種四氯化硅進料增壓系統及其增壓方法是采取以下技術方案實現的：

四氯化硅進料增壓系統包括兩個四氯化硅增壓罐、一個氮氣加壓罐、兩個重量電子秤或兩個液位計、若干個電磁閥和PLC可編程控制器。

在兩個四氯化硅增壓罐下部分別裝有重量電子秤或在兩個增壓罐內部分別裝有液位計，四氯化硅增壓罐上部分別裝有氮氣管道、進料管道和出料管道。其中一個四氯化硅增壓罐一的氮氣管道進口端裝有電磁閥一，電磁閥一通過管道與氮氣加壓罐相連。四氯化硅增壓罐一的進料管上裝有電磁閥二，電磁閥二通過管道與四氯化硅原料儲罐相連。四氯化硅增壓罐一的出料口上裝有電磁閥三，電磁閥三通過管道與沉積設備相連。四氯化硅增壓罐二的氮氣管道進口端裝有電磁閥四，電磁閥四通過管道與氮氣加壓罐相連。四氯化硅增壓罐二進料管上裝有電磁閥五，電磁閥五通過管道與四氯化硅原料儲罐相連。四氯化硅增壓罐二的出料管裝有電磁閥六，電磁閥六通過管道與沉積設備相連。所述電磁閥一、電磁閥二、電磁閥三、電磁閥四、電磁閥五、電磁閥六通過控制線，分別與PLC可編程控制器相連，通過PLC可編程控制器控制開閉。

所述四氯化硅增壓罐一和四氯化硅增壓罐二耐壓大于4KPa。

四氯化硅進料增壓方法如下：

首先，全部閥門關閉，分別打開電磁閥二和電磁閥五，四氯化硅原料儲罐通過氮氣壓力，將四氯化硅壓至四氯化硅增壓罐一和四氯化硅增壓罐二，同時重量電子秤一和重量電子秤二分別對四氯化硅增壓罐一和四氯化硅增壓罐二內的四氯化硅重量檢測，待達到重量上限時，電磁閥二和電磁閥五關閉，停止送料，或通過液位計一和液位計二分別對四氯化硅增壓罐一和四氯化硅增壓罐二內的四氯化硅液位檢測，待達到液位上限時，電磁閥二和電磁閥五關閉，停止送料。之后，電磁閥一和電磁閥三打開，氮氣加壓罐施加大于4KPa的壓力，開始對四氯化硅增壓罐一通入氮氣加壓，將四氯化硅從四氯化硅增壓罐一中壓出送至四氯化硅沉積設備進行工藝送料，四氯化硅增壓罐二為待切換狀態；同時，重量電子秤一對四氯化硅增壓罐一中的四氯化硅重量進行檢測，當重量達到下限時，自動切換至四氯化硅增壓罐二進行送料，或液位計一對四氯化硅增壓罐一中的四氯化硅液位進行檢測，當液位達到下限時，自動切換至四氯化硅增壓罐二進行送料，此時，電磁閥一和電磁閥三關閉，電磁閥四和電磁閥六打開，氮氣加壓罐施加大于4KPa的壓力，對四氯化硅增壓罐二通入氮氣加壓，將四氯化硅從四氯化硅增壓罐二中壓出至四氯化硅沉積設備，實現自動切換穩定送料；同時，電磁閥二打開，四氯化硅原料儲罐中開始向四氯化硅增壓罐一中補料，當重量電子秤一檢測到四氯化硅增壓罐一中四氯化硅重量達到上限時，或當液位計一檢測到四氯化硅增壓罐一中四氯化硅液位達到上限時，電磁閥二關閉，四氯化硅原料儲罐停止送料，四氯化硅增壓罐一進入待切換狀態；同時，重量電子秤二對四氯化硅增壓罐二中的四氯化硅重量進行檢測，當重量達到下限時，或液位計二對四氯化硅增壓罐二中的四氯化硅液位進行檢測，當液位達到下限時，自動切換至四氯化硅增壓罐一送料，同時四氯化硅增壓罐二開始補料；以此循環，實現四氯化硅遠距離穩定送料。