[發明專利]基于諧振頻率法的MEMS薄膜泊松比在線測量方法有效
| 申請號： | 201010106887.4 | 申請日： | 2010-02-08 |
| 公開（公告）號： | CN101769898A | 公開（公告）日： | 2010-07-07 |
| 發明（設計）人： | 戎華;趙彩峰 | 申請（專利權）人： | 南京師范大學 |
| 主分類號： | G01N29/12 | 分類號： | G01N29/12 |
| 代理公司： | 南京知識律師事務所 32207 | 代理人： | 程化銘 |
| 地址： | 210046江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 諧振 頻率 mems 薄膜 泊松比 在線 測量方法 | ||
【權利要求書】：
1.基于諧振頻率法的MEMS薄膜泊松比在線測量方法，其步驟是：
制作一個圓環形MEMS薄膜作為測試結構，其內邊界固支在錨區上、外邊界自由；錨區固定在襯底上；測量出圓環形MEMS薄膜的徑向振動和橫向振動的諧振頻率，然后用下式計算MEMS薄膜泊松比：
且a＝2b
其中：a是圓環形MEMS薄膜的外半徑；
b是圓環形MEMS薄膜的內半徑；
h是圓環形MEMS薄膜的厚度；
f1是徑向振動諧振頻率；
f2是橫向振動諧振頻率；
v是MEMS薄膜泊松比；
所述橫向振動是垂直MEMS薄膜面的振動。?
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