[發(fā)明專利]準(zhǔn)分子燈

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010106755.1
• 申請日: 2010-01-29
• 公開（公告）號: CN101840838A
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 野崎新一郎;森本幸裕
• 申請（專利權(quán)）人: 優(yōu)志旺電機(jī)株式會社
• 主分類號: H01J65/00
• 分類號: H01J65/00;H01J61/35
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 謝麗娜;關(guān)兆輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及到照射真空紫外光的準(zhǔn)分子燈。

背景技術(shù)

已知有圖4所示結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)分子燈。

在該準(zhǔn)分子燈中，放電容器具有外側(cè)管和內(nèi)側(cè)管，所述外側(cè)管和內(nèi)側(cè)管大致同軸地進(jìn)行配置并且在端部相互接合，即具有所謂二重管結(jié)構(gòu)，從而具有圓筒狀的放電空間。

在該外側(cè)管的外周面?zhèn)?放電空間的外側(cè))配置有一側(cè)電極，在內(nèi)側(cè)管的內(nèi)周面?zhèn)?放電空間的外側(cè))配置有另一側(cè)電極，在放電容器內(nèi)部封入有例如10～80kPa的氙氣，作為準(zhǔn)分子放電氣體。

通過對所述一側(cè)和另一側(cè)電極施加高頻高電壓，從而隔著構(gòu)成放電容器(管)的石英玻璃的管壁形成放電。

如上所述地將放電空間形成為圓筒狀的放電空間的形成理由為，盡量使放電間隙固定，確保穩(wěn)定的亮度分布。

這樣的準(zhǔn)分子燈用于基板的清洗、改質(zhì)等表面處理，然而近來，期望在提高生產(chǎn)量的同時(shí)，還能夠減少燈的更換頻率，提高實(shí)際作業(yè)率，降低生產(chǎn)線整體的成本。

然而，在上述準(zhǔn)分子燈中，構(gòu)成放電容器的石英玻璃因紫外光而劣化，使得主要的波長為172nm的光的透過率下降。

并且，進(jìn)而在紫外光引起的劣化進(jìn)一步發(fā)展的情況下，會在放電容器上產(chǎn)生裂縫，使燈不能點(diǎn)亮，并且裂縫在放電容器整體擴(kuò)散，導(dǎo)致容器的碎片掉落的問題。

對于該種紫外線畸變引起的問題在過去也有所研究，例如在專利文獻(xiàn)1中公開了如下的準(zhǔn)分子燈：由于紫外線畸變特別容易進(jìn)入到放電容器的冷卻部，因此在放電空間側(cè)的表面上，與放電容器的由冷卻構(gòu)件冷卻的部位對應(yīng)地形成有紫外線反射膜和/或紫外線吸收膜。

如專利文獻(xiàn)1中所記載的，在準(zhǔn)分子燈的放電空間內(nèi)，除了波長為172nm的紫外線以外，還放射出140～190nm范圍內(nèi)的紫外線，構(gòu)成放電容器的石英玻璃的放電空間側(cè)表面無法避免地會受到所述紫外光照射。紫外光對石英玻璃的損害在波長越短的情況下越大，考慮到放電容器形狀、使用狀態(tài)、以及殘留在玻璃中的熱畸變等，特別是通過保護(hù)容易破損的部分不受所述紫外光的損害，能夠防止放電容器的破損，使燈的壽命延長。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2002-093377號公報(bào)

然而，在專利文獻(xiàn)1記載的技術(shù)中雖然保護(hù)了冷卻部，延緩了該部分的破損并能夠延長壽命，然而由于其他部位并未受到保護(hù)，因而由于紫外線畸變的進(jìn)入而使得主要波長為172nm的紫外光的透過率變差，會引起亮度降低。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種準(zhǔn)分子燈，能夠抑制放電容器的劣化，實(shí)現(xiàn)長壽命，并且光的射出效率高且亮度降低少。

為了實(shí)現(xiàn)上述準(zhǔn)分子燈，本發(fā)明中的準(zhǔn)分子燈具有：放電容器，其具有配置在同軸上的外側(cè)管和內(nèi)側(cè)管，封入有形成受激準(zhǔn)分子的放電用氣體并形成圓筒狀的放電空間；以及配置于所述外側(cè)管的外周面上的一側(cè)電極和配置于所述內(nèi)側(cè)管的內(nèi)周面上的另一側(cè)電極，該準(zhǔn)分子燈的特征在于，所述一側(cè)電極在與所述準(zhǔn)分子燈的管軸垂直的剖面中覆蓋所述外側(cè)管的外周面上的一半以上并且具有一定區(qū)域非形成部分，在所述外側(cè)管的內(nèi)周面上，以超過所述一側(cè)的電極的配置區(qū)域進(jìn)行覆蓋的方式形成有對波長在150nm以下的紫外光具有吸收或者反射特性的保護(hù)膜。

此外，在所述內(nèi)側(cè)管的外周面上，以超過所述另一側(cè)的電極的配置區(qū)域進(jìn)行覆蓋的方式形成有對波長在150nm以下的紫外光具有吸收或者反射特性的膜。

此外，所述膜由選自二氧化硅、氧化鋁、氧化鈦和氧化釔構(gòu)成的群中的至少一種構(gòu)成。

根據(jù)本發(fā)明所述的準(zhǔn)分子燈，通過在放電容器的外側(cè)管的曝于放電中的部分上形成相對于波長在150nm以下的紫外光具有吸收或者反射特性的保護(hù)膜，能夠不被照射作為氙氣共振線的波長為147nm的紫外光，并且能夠抑制由紫外線發(fā)生畸變引起的放電容器的劣化，能夠抑制放電容器經(jīng)過較長期間后破損，能夠形成壽命長的準(zhǔn)分子燈。

此外，進(jìn)而通過在作為內(nèi)側(cè)管的放電空間側(cè)表面的、該管的外周面上也設(shè)置所述保護(hù)膜，能夠抑制紫外線畸變進(jìn)入到內(nèi)側(cè)管中，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)長壽命化。

此外，從由二氧化硅、氧化鋁、氧化鈦和氧化釔構(gòu)成的群中選出至少一種構(gòu)成保護(hù)膜，由此能夠可靠地防止波長在150nm以下的紫外光入射到放電容器中。

附圖說明

圖1是將說明本發(fā)明的實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈沿垂直于管軸的方向剖開的剖視圖。

圖2是將說明本發(fā)明的實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈沿管軸方向剖開的剖視圖。

圖3是將圖1中以圓形包圍起來的部分放大進(jìn)行表示的主要部分說明圖。

圖4是將說明本發(fā)明的其他實(shí)施方式的準(zhǔn)分子燈沿垂直于管軸的方向剖開的剖視圖。