[發明專利]一種在硅片表面制備銀納米材料的方法

無效

• 申請號: 201010106584.2
• 申請日: 2010-02-04
• 公開（公告）號: CN101775594A
• 公開（公告）日: 2010-07-14
• 發明（設計）人: 何洋;尹恒許;田夢君;姜澄宇;苑偉政
• 申請（專利權）人: 西北工業大學
• 主分類號: C23C18/42
• 分類號: C23C18/42;C23C18/18
• 代理公司: 西北工業大學專利中心 61204
• 代理人: 夏維力

1.一種在硅片表面制備銀納米材料的方法，其特征在于：包括以下步驟：

步驟對硅片表面進行清洗。

步驟2：將清洗過的硅片放入濃度為2.3mol/L-4.6mol/L的氫氟酸和濃度為0.01mol/L-0.04mol/L的硝酸銀混合溶液中，室溫處理0.5-2分鐘。

步驟3：取出硅片，用去離子水漂洗后自然晾干。

2.按照權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述步驟1中對硅片表面進行清洗的具體過程是：用丙酮震蕩清洗5-10分鐘，然后用乙醇震蕩清洗5-10分鐘，再用98％的硫酸和30％的過氧化氫混合溶液清洗5-10分鐘，所述98％的硫酸和30％的過氧化氫的容積比為3∶1。