[發明專利]熱效應自補償裝置與其補償方法

無效

• 申請號: 201010106402.1
• 申請日: 2010-01-26
• 公開（公告）號: CN102135515A
• 公開（公告）日: 2011-07-27
• 發明（設計）人: 黃榮山;辜煜夫;顏毅廣;關恕;吳光鐘;林世明;林品延
• 申請（專利權）人: 黃榮山
• 主分類號: G01N27/04
• 分類號: G01N27/04
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 張晶

1.一種熱效應自補償系統，包含：

埋藏壓阻，具有第一壓阻；及

微懸臂梁，具有第二壓阻，

其中該熱效應自補償系統藉由該第一壓阻對溫度變化的關系與該第二壓阻對該溫度變化的關系進行溫度補償。

2.一種熱效應自補償系統，包含：

埋藏壓阻，具有第一壓阻，該第一壓阻與環境溫度相關；及

微懸臂梁，具有第二壓阻，該第二壓阻與該環境溫度相關，

其中該熱效應自補償系統經由測量該第一壓阻來計算第一壓阻值，當該環境溫度改變時，該熱效應自補償系統藉由該第一壓阻對該環境溫度改變的關系與該第二壓阻對該環境溫度改變的關系進行溫度補償。

3.如權利要求2所述的熱效應自補償系統，其中：

該第一壓阻為該環境溫度的函數且具有第一溫度壓阻函數的性質；

該第二壓阻為該環境溫度的函數且具有第二溫度壓阻函數的性質；

該熱效應自補償系統測量該第一壓阻而獲得第二壓阻值；

該熱效應自補償系統根據該第二壓阻值與該第一溫度壓阻函數而計算環境溫度值；及

該熱效應自補償系統根據該環境溫度值與該第二溫度壓阻函數計算該第一壓阻值，其中：

該第一溫度壓阻函數只與壓阻熱效應相關；或

該第二溫度壓阻函數與壓阻熱效應及雙膜效應相關。

4.如權利要求2所述的熱效應自補償系統，其中該埋藏壓阻包含參考壓阻器，該參考壓阻器具有該第一壓阻，該第一壓阻只受到壓阻熱效應的影響，其中：

該參考壓阻器作為溫度計；或

該微懸臂梁包含感測壓阻器，該感測壓阻器具有第二壓阻，該第二壓阻受到雙膜效應與壓阻熱效應的影響，其中該參考壓阻器的材料與該感測壓阻器的材料為具壓阻性質的材料。

5.如權利要求2所述的熱效應自補償系統，其中該微懸臂梁的材料為多層復合材料，其中該多層復合材料其中一層為具壓阻性質的材料。

6.一種熱效應自補償裝置，包含：

基板；

埋藏壓阻，形成于該基板上；及

微懸臂梁，形成于該基板上。

7.如權利要求6所述的熱效應自補償裝置，其中：

該埋藏壓阻為參考壓阻器，且該埋藏壓阻只受到壓阻熱效應的影響，其中該參考壓阻器作為溫度計；或

該微懸臂梁包含感測壓阻器，且該微懸臂梁受到雙膜效應與壓阻熱效應的影響。

8.一種熱效應補償方法，該方法包含下列步驟：

(a)量測埋藏壓阻的第一壓阻，利用該第一壓阻計算環境溫度值；

(b)利用該環境溫度值計算第一壓阻值；及

(c)依據該第一壓阻值進行熱效應補償。

9.如權利要求8所述的方法，其中在步驟(a)之前包含下列步驟：

(a1)當微懸臂梁未進行量測且環境溫度變化時，建立第一溫度壓阻函數，與第二溫度壓阻函數，該第一溫度壓阻函數與該第一壓阻及該環境溫度相關，該第二溫度壓阻函數與該第一壓阻值及該環境溫度值相關；及

(a2)藉由該第一壓阻與該第一溫度壓阻函數計算該環境溫度值。

10.如權利要求9所述的方法，其中：

在步驟(b)之前包含下列步驟：

(b1)藉由該環境溫度值與該第二溫度壓阻函數計算該第一壓阻值；及

在步驟(c)之前包含下列步驟：

(c1)當該微懸臂梁進行量測時，量測該微懸臂梁的第二壓阻；及

(c2)利用該第一壓阻值對該第二壓阻進行該熱效應補償。