[發明專利]基于兩組亞波長光柵的光學微位移傳感器

無效

• 申請號: 201010104140.5
• 申請日: 2010-01-26
• 公開（公告）號: CN101788267A
• 公開（公告）日: 2010-07-28
• 發明（設計）人: 曾旭;侯昌倫
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

1.一種基于兩組亞波長光柵的光學微位移傳感器，其特征在于包括基板(1)、第一光電探測器(2)、第一聚焦透鏡組(3)、分光棱鏡(4)、帶有準直擴束透鏡組的激光光源(5)、T字型玻璃基板(6)、第一圓孔(7)、第二聚焦透鏡組(8)、第二光電探測器(9)、光電探測器固定底座(10)、壓電陶瓷(11)、第二圓孔(12)、第一玻璃基板(13)、第一亞波長光柵層(14)、第二亞波長光柵層(15)、第二玻璃基板(16)；T字型玻璃基板(6)的一側設有基板(1)、第一光電探測器(2)、第一聚焦透鏡組(3)，第一光電探測器(2)、第一聚焦透鏡組(3)經過組合后固定在基板(1)上，T字型玻璃基板(6)上的一側從下到上依次設有帶有準直擴束透鏡組的激光光源(5)、分光棱鏡(4)、第二聚焦透鏡組(8)、第二光電探測器(9)、光電探測器固定底座(10)，第二聚焦透鏡組(8)與第二光電探測器(9)組合后固定在光電探測器固定底座(10)上，T字型玻璃基板(6)內設有第一圓孔(7)，T字型玻璃基板(6)上的另一側從左至右依次設有壓電陶瓷(11)、第二圓孔(12)、第一玻璃基板(13)、第一亞波長光柵層(14)，壓電陶瓷(11)內設有第二圓孔(12)，第一亞波長光柵層(14)的右側有第二亞波長光柵層(15)、第二玻璃基板(16)，第二亞波長光柵層(15)設在第二玻璃基板(16)左側；光從帶有準直擴束透鏡組的激光光源(5)發出，通過分光棱鏡(4)產生兩路激光，一路激光通過第二聚焦透鏡組(8)，照射到第二光電探測器(9)上，另一路激光通過分光棱鏡(4)，第一圓孔(7)、第二圓孔(12)、至第一玻璃基板(13)、第一亞波長光柵層(14)、第二亞波長光柵層(15)、第二玻璃基板(16)；在第一亞波長光柵層(14)上產生的反射光通過第二圓孔(12)、第一圓孔(7)、分光棱鏡(4)、第一聚焦透鏡組(3)、由第一光電探測器(2)接收；所述的第一亞波長光柵層(14)與第二亞波長光柵層(15)形成諧振腔。

2.如權利要求1所述的一種基于兩組亞波長光柵的光學微位移傳感器，其特征在于所述的第一亞波長光柵層(14)或第二亞波長光柵層(15)的周期為0.3～2微米，厚度為0.5～3微米，第一亞波長光柵層(14)與第二亞波長光柵層(15)之間的空氣間隙為0.05～1微米。

3.如權利要求1所述的一種基于兩組亞波長光柵的光學微位移傳感器，其特征在于所述的第一亞波長光柵層(14)與第二亞波長光柵層(15)之間的空氣間隙通過壓電陶瓷(11)控制。

4.如權利要求1所述的一種基于兩組亞波長光柵的光學微位移傳感器，其特征在于所述的壓電陶瓷(11)推動第一玻璃基板(13)軸向平移距離為0～5微米。?