[發(fā)明專(zhuān)利]處理液供給系統(tǒng)和處理液供給方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010103298.0
• 申請(qǐng)日: 2010-01-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101807005A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 植田稔彥
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): G03F7/16
• 分類(lèi)號(hào): G03F7/16
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會(huì)華

1.一種處理液供給系統(tǒng)，其用于對(duì)使用規(guī)定的處理液的裝 置供給上述處理液，其特征在于，

該處理液供給系統(tǒng)包括：

處理液存儲(chǔ)罐，其用于存儲(chǔ)上述處理液并對(duì)上述裝置輸出 上述處理液；

處理液補(bǔ)充部件，其能經(jīng)由第一補(bǔ)充管路將用于補(bǔ)充到上 述處理液存儲(chǔ)罐的上述處理液供給到上述處理液存儲(chǔ)罐中；

閥，其用于接通、阻斷上述第一補(bǔ)充管路；

第一壓力調(diào)整部件，其用于將上述處理液存儲(chǔ)罐內(nèi)的壓力 調(diào)整為第一壓力值；以及

第二壓力調(diào)整部件，其用于將上述處理液補(bǔ)充部件的壓力 調(diào)整為高于上述第一壓力值的第二壓力值；

該處理液供給系統(tǒng)通過(guò)打開(kāi)上述閥，一邊從上述處理液存 儲(chǔ)罐對(duì)上述裝置供給上述處理液，一邊從上述處理液補(bǔ)充部件 對(duì)上述處理液存儲(chǔ)罐供給上述處理液，

上述處理液補(bǔ)充部件包括：

緩沖罐，其與上述第一補(bǔ)充管路相連接，并用于向上述處 理液存儲(chǔ)罐補(bǔ)充上述處理液；

第二補(bǔ)充管路，其用于對(duì)上述緩沖罐進(jìn)行上述處理液的補(bǔ) 充；以及

余量傳感器，其用于檢測(cè)存儲(chǔ)在上述緩沖罐中的上述處理 液的剩余量；

上述緩沖罐的罐壓控制管路連接有切換閥的一端，該切換 閥的另一端用于對(duì)上述罐壓控制管路與排出管和氣體供給管的 連接進(jìn)行切換，該氣體供給管上設(shè)有上述第二壓力調(diào)整部件，

上述緩沖罐連接有設(shè)有壓力調(diào)整閥的管路，該壓力調(diào)整閥 用于防止上述緩沖罐內(nèi)的壓力過(guò)度上升，

當(dāng)上述緩沖罐內(nèi)的上述處理液的剩余量減少而由上述余量 傳感器檢測(cè)到需要補(bǔ)充狀態(tài)時(shí)，上述切換閥切換到上述排出管 側(cè)，從上述第二補(bǔ)充管路向上述緩沖罐內(nèi)供給上述處理液，而 當(dāng)由上述余量傳感器檢測(cè)到填充規(guī)定量時(shí)，上述切換閥切換到 上述氣體供給管側(cè)，上述緩沖罐內(nèi)的氣壓再次保持在上述第二 壓力值，

上述緩沖罐內(nèi)的壓力始終處在高于上述處理液存儲(chǔ)罐內(nèi)的 壓力的狀態(tài)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理液供給系統(tǒng)，其特征在于，

該處理液供給系統(tǒng)包括：

余量檢測(cè)部件，其用于檢測(cè)上述處理液存儲(chǔ)罐中的上述處 理液的剩余量是否為規(guī)定量，

控制部件，基于上述余量檢測(cè)部件的檢測(cè)結(jié)果來(lái)控制上述 閥的開(kāi)閉。

3.一種處理液供給方法，自緩沖罐經(jīng)由第一補(bǔ)充管路對(duì)用 于存儲(chǔ)規(guī)定的處理液并能對(duì)使用上述處理液的裝置輸出上述處 理液的處理液存儲(chǔ)罐補(bǔ)充上述處理液，其特征在于，該處理液 供給方法執(zhí)行以下步驟：

使上述處理液存儲(chǔ)罐的壓力成為第一壓力值的步驟；

通過(guò)壓力調(diào)整部件，使比接通、阻斷上述第一補(bǔ)充管路的 閥更靠上游側(cè)的壓力成為高于上述第一壓力值的第二壓力值的 步驟；

在需要對(duì)上述處理液存儲(chǔ)罐補(bǔ)充上述處理液的情況下，打 開(kāi)上述閥的步驟；以及

上述緩沖罐內(nèi)的壓力始終處在高于上述處理液存儲(chǔ)罐內(nèi)的 壓力的狀態(tài)，當(dāng)上述緩沖罐內(nèi)的上述處理液的剩余量減少而由 余量傳感器檢測(cè)到需要補(bǔ)充狀態(tài)時(shí)，切換閥切換到排出管側(cè)， 從與上述緩沖罐相連接的第二補(bǔ)充管路向上述緩沖罐內(nèi)供給上 述處理液，而當(dāng)由上述余量傳感器檢測(cè)到填充規(guī)定量時(shí)，上述 切換閥切換到設(shè)有上述壓力調(diào)整部件的氣體供給管側(cè)，上述緩 沖罐內(nèi)的氣壓再次保持在上述第二壓力值的步驟；

其中，上述緩沖罐的罐壓控制管路連接有上述切換閥的一 端，該切換閥的另一端用于對(duì)上述罐壓控制管路與上述排出管 和上述氣體供給管的連接進(jìn)行切換。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的處理液供給方法，其特征在于，

在需要對(duì)上述處理液存儲(chǔ)罐補(bǔ)充上述處理液的情況下，在 打開(kāi)上述閥的步驟中，

檢測(cè)上述處理液存儲(chǔ)罐中的上述處理液的剩余量是否為規(guī) 定量，根據(jù)上述檢測(cè)結(jié)果來(lái)控制上述閥的開(kāi)閉。