[發明專利]燈絲翻新方法及裝置

有效

• 申請號: 201010102975.7
• 申請日: 2010-01-28
• 公開（公告）號: CN102142343A
• 公開（公告）日: 2011-08-03
• 發明（設計）人: 高健
• 申請（專利權）人: 北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號: H01J9/50
• 分類號: H01J9/50
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 郭潤湘

技術領域

本發明涉及半導體的制造和材料分析處理領域，尤其是涉及一種燈絲翻新方法及一種燈絲翻新裝置。

背景技術

在當前的半導體制造和材料分析處理領域，為了能獲得更高的顯微放大能力和高分辨率圖像，電子掃描顯微鏡應運而生。

電子掃描顯微鏡的顯像原理如下：

電子槍通過加載高壓等處理后，從燈絲發射電子產生電子束，利用生成的電子束高速轟擊樣品表面，在樣品表面生成電子置換，形成二次電子散射，再通過光電信號轉換成像技術得到高倍放大圖像。

目前廣泛使用的電子掃描顯微鏡，電子槍及燈絲組成的電子源都是通過燈絲引出電子流，根據工作模式的不同可以分為熱場發射及冷場發射兩種類型。通常，熱場發射模式的燈絲溫度能維持在1800度，使用壽命僅有1-3年，隨著燈絲老化，燈絲發射的電子束流會越來越小，導致電子掃描顯微鏡無法獲得高清圖像?，F有的唯一解決辦法是更換新的燈絲，才能重新恢復電子束流，造成資源的浪費。

發明內容

本發明實施例提供了一種燈絲翻新方法，用于對燈絲進行多次利用，節省資源，提高資源利用率，該方法包括：

從電子槍腔體中取出已老化的燈絲；

固定所述已老化的燈絲，將已固定的燈絲浸泡在煮沸的去離子水中加熱第一時間；

將經加熱后的燈絲從煮沸的去離子水中取出，放入清洗槽內固定，利用去離子水超聲清洗第二時間；

將清洗后的燈絲從所述清洗槽中取出，干燥后安裝到所述電子槍腔體中。

較佳的，所述干燥包括：

利用不與所述清潔后的燈絲發生化學反應的氣體對清洗后的燈絲進行干燥。

較佳的，所述不與所述清潔后的燈絲發生化學反應的氣體包括：氮氣、惰性氣體。

較佳的，所述第一時間為0.5小時。

較佳的，所述第二時間為1.5小時。

較佳的，燈絲的材料包括：鎢W、六硼化鑭LaB₆。

本發明實施例還提供了一種燈絲翻新裝置，用于對燈絲進行多次利用，節省資源，提高資源利用率，包括：

取出單元，用于從電子槍腔體中取出已老化的燈絲；

加熱單元，用于固定所述已老化的燈絲，將已固定的燈絲浸泡在煮沸的去離子水中加熱第一時間；

清洗單元，用于將經加熱后的燈絲從所述煮沸的去離子水中取出，放入清洗槽內固定，利用去離子水超聲清洗第二時間；

干燥單元，用于將清洗后的燈絲從所述清洗槽中取出，干燥后安裝到所述電子槍腔體中。

較佳的，所述干燥單元進一步用于：利用不與所述清潔后的燈絲發生化學反應的氣體對清洗后的燈絲進行干燥；

所述干燥單元進一步用于：利用氮氣或惰性氣體對清洗后的燈絲進行干燥。

較佳的，所述加熱單元進一步用于：將所述已老化的燈絲浸泡在煮沸的去離子水中加熱0.5小時；

所述清潔單元進一步用于：利用去離子水超聲清洗1.5小時。

在本發明實施例中，從電子槍腔體中取出已老化的燈絲，固定已老化的燈絲，防止燈絲在加熱時滾動碰到尖端產生彎折等物理損傷，將已固定的燈絲浸泡在煮沸的去離子水中加熱第一時間，令燈絲上原有的氧化層和雜質受熱脹冷縮的影響而與燈絲本體脫離或松脫，將經加熱后的燈絲從煮沸的去離子水取出，放入清洗槽內固定，利用去離子水超聲清洗第二時間，徹底清除燈絲表面附著物，將清洗后的燈絲從清洗槽中取出，干燥后安裝到電子槍腔體中，經干燥后的燈絲可以產生足夠大的電子束流，保證生成圖像的清晰，提高了資源利用率，達到燈絲翻新應用的目的。

附圖說明

圖1是本發明實施例提供的燈絲翻新方法的具體流程圖；

圖2是本發明實施例提供的燈絲翻新裝置的結構示意圖。

具體實施方式

本領域技術人員發現，影響燈絲壽命的主要原因為：1、燈絲表面氧化，或有腔體內部雜質吸附；2、燈絲因長時間工作后鈍化。

經對大量更換的燈絲進行分析后發現，只有少部分燈絲因為鈍化的現象被更換，大部分燈絲都是因為表面氧化，或有腔體內部雜質吸附無法產生足夠大的電子束流，而不是因為鈍化被更換，對資源形成極大的浪費。

為達到對燈絲進行多次利用，節省資源，提高資源利用率的目的，本發明實施例提供了一種燈絲翻新方法，具體處理流程如圖1所示，包括：

步驟101、從電子槍腔體中取出已老化的燈絲；

步驟102、固定已老化的燈絲，將已固定的燈絲浸泡在煮沸的去離子水中加熱第一時間；

步驟103、將經加熱后的燈絲從加熱容器中取出，放入清洗槽內固定，利用去離子水超聲清洗第二時間；