[發明專利]硅片邊緣保護裝置及其應用方法

有效

• 申請號: 201010102423.6
• 申請日: 2010-01-28
• 公開（公告）號: CN102141735A
• 公開（公告）日: 2011-08-03
• 發明（設計）人: 吳榮基
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種硅片邊緣保護裝置，其特征在于，該裝置包含：

固定盤(8)；

三偏心凸輪盤(9)，其安裝在固定盤(8)上，該三偏心凸輪盤(9)上具有若干分布均勻的偏心槽；

氣缸機構(1)，其一頭安裝在固定盤(8)上，另一頭安裝在三偏心凸輪盤(9)上；

凸輪隨動器(14)，其對應設置在三偏心凸輪盤(9)的偏心槽內；

保護環(2)，其安裝在固定盤(8)的正下方；

保護爪(18)，其安裝在凸輪隨動器(14)上，并且嵌在固定盤(8)中，該保護爪(18)對保護環(2)具有過載保護功能，且保護爪(18)對固定盤起固定作用；

軸承套(11)，其安裝在固定盤(8)上，三偏心凸輪盤(9)以軸承套(11)的圓柱面為滑動軸作圓周運動；

鋼球(10)，其設置在軸承套(11)上，在軸承套(11)和三偏心凸輪盤(9)之間形成一個滑動副，使三偏心凸輪盤(9)能從固定盤上浮起；

氣缸機構(1)通氣后，氣缸機構(1)帶動三偏心凸輪盤(9)做圓周運動，三偏心凸輪盤(9)帶動凸輪隨動器(14)作徑向運動，凸輪隨動器(14)帶動保護爪(18)一起做徑向運動，將保護環(2)抓起或放下，實現保護環的交換。

2.如權利要求1所述的硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述三偏心凸輪盤(9)是一個圓環。

3.如權利要求2所述的硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述偏心槽為通槽或非通槽，其中心軌跡曲線由D1D2，D2D3，D3D4三部分組成，每一個中心軌跡曲線中的一段與三偏心凸輪盤(9)中心有偏置量，中心軌跡曲線方程為：

其中，r?1表示為以0(0，0)為圓心，半徑為r1的D1D2圓弧；

r2表示為以0(0，0)為圓心，半徑為r?1的D3D4圓弧；

r表示為以o2(a2，b2)為圓心，半徑為r的圓弧；

θ_o為∠XOO2；

θ為∠XOD3；

每條軌跡曲線與其他的軌跡曲線都與偏心凸輪盤(9)的中心均勻分布。

4.如權利要求1所述的硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述的氣缸機構(1)采用氣壓缸作為原動力或液壓缸作為原動力。

5.如權利要求1所述的硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述的硅片邊緣保護裝置還包含：

定位銷(15)，其安裝在固定盤(8)上；

彈簧保護銷(20)穿過彈簧(19)安裝在定位銷(15)上，對保護爪(18)起過緩沖和載保護作用；

球頭螺釘(17)，其安裝在保護爪(18)的頭端部，該球頭螺釘(17)隨保護爪(18)一起作徑向運動，對保護環(2)起自定心作用，隨著球頭螺釘(17)向保護環(2)中心移動，使得原本偏心的保護環(2)回歸到中心位置。

6.如權利要求5所述的硅片邊緣保護裝置，其特征在于，所述的硅片邊緣保護裝置還包含：

內六角平端緊定螺釘(3)，吹氣機構(4)，接近傳感器(5)，硅片邊緣保護蓋板部件(6)，十字槽沉頭螺釘(7)，開槽螺釘(13)，X向調節座(12)，四方螺母(16)，第一鋼珠(21)，蓋板(22)，壓板(23)，第二鋼珠(24)，螺塞(25)，壓塊(26)，壓蓋(27)，螺釘(28)；

內六角平端緊定螺釘(3)安裝在X向調節座(12)上，調節X向的位移量；接近傳感器(5)均安裝在固定盤(8)上，用來測量保護環(2)是否完全與硅片邊緣保護接觸；十字槽沉頭螺釘(7)穿過X向調節座(12)安裝在固定盤(8)上，用來固定X向調節座(12)；開槽螺釘(13)穿過軸承套(11)與固定盤(8)連接；四方螺母(16)安裝在球頭螺釘(17)上；螺塞(25)安裝在固定盤(8)上來固定軸承套(11)，硅片邊緣保護蓋板部件(6)安裝在固定盤(8)上，吹氣機構(4)安裝在固定盤(8)上，第一鋼珠(21)放入蓋板(22)中，蓋板(22)放入壓板(23)中用螺釘(28)擰緊，第二鋼珠(24)放入壓塊(26)中，壓塊(26)放入壓蓋(27)中后用螺釘(28)擰緊。