[發(fā)明專(zhuān)利]防潮的鋼瓶磅秤

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010102406.2
• 申請(qǐng)日: 2010-01-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102141193A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張榕
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F17C13/02
• 分類(lèi)號(hào): F17C13/02;G01G17/04;G01G23/00
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種防潮的鋼瓶磅秤。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體生產(chǎn)中需要大量使用氯氣、氯化氫等十多種液化工藝氣體鋼瓶。目前，向生產(chǎn)部門(mén)供應(yīng)特殊氣體的方法是：將兩個(gè)相同的液化氣體鋼瓶裝在同一個(gè)氣瓶柜內(nèi)，其中一個(gè)鋼瓶處于供氣狀態(tài)，另一個(gè)氣體鋼瓶處于備用狀態(tài)。在兩個(gè)鋼瓶的底部都放有特制的電子磅秤來(lái)計(jì)量鋼瓶?jī)?nèi)液化氣體的重量，該磅秤1的結(jié)構(gòu)如圖1a、圖1b和圖1c，所述磅秤1由底板11和蓋板12合圍而成，所述蓋板12的一個(gè)側(cè)面設(shè)有供數(shù)據(jù)線(xiàn)穿過(guò)的通孔。當(dāng)處于供氣狀態(tài)的鋼瓶?jī)?nèi)液化氣體使用到重量的自動(dòng)切換值(即將用空)時(shí)，磅秤會(huì)通過(guò)重量傳感器感知并發(fā)出鋼瓶切換信號(hào)。此時(shí)用空的鋼瓶會(huì)自動(dòng)停止供氣而另一側(cè)處于備用狀態(tài)的鋼瓶會(huì)自動(dòng)投入使用，從而實(shí)現(xiàn)了連續(xù)、平穩(wěn)地為半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)氣體的目的。

在供氣過(guò)程中鋼瓶?jī)?nèi)的液化氣體需要由液態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)，而這個(gè)物理狀態(tài)變化過(guò)程是一個(gè)吸熱過(guò)程。因此，鋼瓶的溫度在這個(gè)吸熱的過(guò)程中會(huì)顯著降低。在濕度比較大的季節(jié)，如夏季，鋼瓶表面會(huì)因此產(chǎn)生大量的凝結(jié)水。磅秤內(nèi)部也會(huì)凝結(jié)大量冷凝水，如長(zhǎng)時(shí)間不能清除，這些冷凝水將會(huì)將磅秤內(nèi)部的電路燒毀或腐蝕。如此，不僅會(huì)造成磅秤損壞的經(jīng)濟(jì)損失，還會(huì)因?yàn)榘醭邮ъ`而引起鋼瓶重量讀值錯(cuò)誤而導(dǎo)致供氣中斷甚至生產(chǎn)停頓。

由此可見(jiàn)，現(xiàn)有的液化氣體鋼瓶的電子磅秤沒(méi)有防潮功能。如何提供一種可以防止磅秤內(nèi)部潮濕的鋼瓶磅秤是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種防潮的鋼瓶磅秤，通過(guò)向磅秤的內(nèi)部吹氮?dú)饣驂嚎s空氣，防止磅秤內(nèi)部聚集冷凝水而引生磅秤內(nèi)部電路板燒毀事故。

為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案：

一種防潮的鋼瓶磅秤，在磅秤內(nèi)部設(shè)有吹氣管道，所述吹氣管道與磅秤外部的供氣管道相連接，所述吹氣管道上分布有若干用于向磅秤內(nèi)部吹氣的吹氣孔。

所述供氣管道設(shè)有控制器。

所述控制器為氣動(dòng)閥。

所述控制器包括單片機(jī)、電磁閥和氣動(dòng)閥，所述氣動(dòng)閥接在供氣管道上，所述單片機(jī)與所述電磁閥電連接，所述電磁閥與所述氣動(dòng)閥電連接。

所述防潮的鋼瓶磅秤還包括環(huán)境溫度傳感器和磅秤溫度傳感器，所述磅秤溫度傳感器設(shè)置于磅秤內(nèi)，所述環(huán)境溫度傳感器設(shè)置于磅秤的周?chē)臻g內(nèi)，所述環(huán)境溫度傳感器和磅秤溫度傳感器分別與所述單片機(jī)電連接。

當(dāng)控制器接收到的來(lái)自環(huán)境溫度傳感器的溫度高于來(lái)自磅秤溫度傳感器的溫度一預(yù)先設(shè)定的溫差值時(shí)，控制器通過(guò)電磁閥打開(kāi)氣動(dòng)閥。

所述控制器設(shè)置于所述磅秤的上方，所述磅秤溫度傳感器設(shè)置于控制器的底部。

所述氣動(dòng)閥為針閥。

所述吹氣管道設(shè)置在所述磅秤內(nèi)頂部四周。

所述供氣管道內(nèi)是氮?dú)饣驂嚎s空氣。

本發(fā)明的有益效果如下：

本發(fā)明防潮的鋼瓶磅秤，通過(guò)供氣管道和吹氣管道實(shí)現(xiàn)在磅秤內(nèi)部進(jìn)行氮?dú)饣蚋稍飰嚎s空氣吹掃，從而防止磅秤內(nèi)部的凝結(jié)水產(chǎn)生，一方面，可以防止凝結(jié)水使得磅秤內(nèi)部的電路燒毀或腐蝕，從而防止因磅秤失靈而引發(fā)鋼瓶重量讀值錯(cuò)誤以致造成供氣中斷的嚴(yán)重后果；另一方面，可以使得磅秤的內(nèi)部環(huán)境保持干燥，從而可以有效延長(zhǎng)磅秤的壽命，減少了維護(hù)成本。

附圖說(shuō)明

本發(fā)明的防潮的鋼瓶磅秤由以下的實(shí)施例及附圖給出。

圖1a是現(xiàn)有的用于放置鋼瓶的磅秤的俯視圖；

圖1b是現(xiàn)有的用于放置鋼瓶的磅秤的主視圖；

圖1c是現(xiàn)有的用于放置鋼瓶的磅秤的側(cè)視圖；

圖2是本發(fā)明防潮的鋼瓶磅秤放置在氣瓶柜內(nèi)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明的磅秤的結(jié)構(gòu)示意圖(頂蓋未示意)；

圖4是本發(fā)明的磅秤和控制器的連接示意圖；

圖5是本發(fā)明的控制器內(nèi)部的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6是本發(fā)明防潮的鋼瓶磅秤的工藝和儀表流程圖；

圖中，1-磅秤、11-蓋板、12-底板、2-重量傳感器、21-重量數(shù)據(jù)線(xiàn)、3-吹氣管道、31-吹氣孔、4-供氣管道、5-控制器、51-氣動(dòng)閥、52-電磁閥、53-單片機(jī)、54-電源開(kāi)關(guān)、6-磅秤溫度傳感器、61-磅秤溫度數(shù)據(jù)線(xiàn)、7-環(huán)境溫度傳感器、71-環(huán)境溫度數(shù)據(jù)線(xiàn)、8-鋼瓶、9-氣瓶柜。

具體實(shí)施方式

以下將對(duì)本發(fā)明的防潮的鋼瓶磅秤作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

下面將參照附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本發(fā)明而仍然實(shí)現(xiàn)本發(fā)明的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本發(fā)明的限制。