[發(fā)明專利]一種微束等離子弧三維動態(tài)光譜檢測系統(tǒng)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010101230.9
• 申請日: 2010-01-26
• 公開（公告）號: CN101738257A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發(fā)明（設計）人: 何建萍;陳戍;焦馥杰;向鋒;王付鑫
• 申請（專利權）人: 上海工程技術大學
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28;B23K9/095
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227
• 代理人: 楊杰民

1.一種微束等離子弧三維動態(tài)光譜檢測系統(tǒng)，其特征在于，包 括三維精密微動平臺(11)、光路系統(tǒng)、光路系統(tǒng)固定裝置(10)、光 譜采集控制系統(tǒng)和數(shù)據(jù)線(9)；

所述的光路系統(tǒng)包括檢測鏡頭(7)、光纖(1)和光譜儀(8)； 光纖(1)兩端分別與檢測鏡頭(7)和光譜儀(8)連接；

所述的檢測鏡頭(7)安裝在三維精密微動平臺(11)上；檢測 鏡頭(7)由物鏡一(3)、物鏡二(4)和帶針孔的石英片(2)組成； 物鏡一(3)和物鏡二(4)，一前一后，鏡頭反向安裝在光路系統(tǒng)固 定裝置(10)的支架上；在物鏡一(3)和物鏡二(4)后，依次安裝 一帶針孔的石英片(2)和光纖(1)，且使帶針孔的石英片(2)、 光纖(1)的中心與物鏡一(3)和物鏡二(4)的中心在同一直線上；

所述的光路系統(tǒng)固定裝置(10)由調節(jié)結構、保護罩和支架組成。

2.如權利要求1所述的一種微束等離子弧三維動態(tài)光譜檢測系 統(tǒng)，其特征在于，所述的三維精密微動平臺(11)由可實現(xiàn)空間X、 Y和Z三維方向步進運動的步進電機、螺桿機械機構和底座組成。

3.如權利要求1所述的一種微束等離子弧三維動態(tài)光譜檢測系 統(tǒng)，其特征在于，所述的光譜采集控制系統(tǒng)由光譜采集軟件(12)、步 進電機控制器(14)和電腦(13)組成；光譜采集控制系統(tǒng)的步進電機控 制器(14)通過數(shù)據(jù)線(9)經USB接口與電腦(13)連接。

4.如權利要求1所述的一種微束等離子弧三維動態(tài)光譜檢測系 統(tǒng)，其特征在于，所述的光譜儀(8)的光電信號傳遞和供電，通過 數(shù)據(jù)線(9)經USB接口與電腦(13)連接；三維精密微動平臺(11) 上X、Y和Z三維方向步進運動的步進電機數(shù)據(jù)線(9)分別與步進電 機控制器(14)上的X、Y和Z三個接口連接；步進電機控制器(14) 通過數(shù)據(jù)線(9)經USB接口與電腦(13)連接。

5.如權利要求1所述的一種微束等離子弧三維動態(tài)光譜檢測系 統(tǒng)，其特征在于，進行光譜檢測時，物鏡二(4)至微束等離子弧(6) 的最遠距離小于或等于一倍焦距，且檢測鏡頭(7)在微束等離子弧 (6)外圍作X、Y和Z三維的步進移動。