[發(fā)明專利]四氟化硅氣合成的改進(jìn)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010101067.6
• 申請(qǐng)日: 2010-01-26
• 公開（公告）號(hào): CN101811700A
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 維塞爾·雷萬卡;桑吉夫·拉郝蒂
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 維塞爾·雷萬卡;桑吉夫·拉郝蒂
• 主分類號(hào): C01B33/107
• 分類號(hào): C01B33/107
• 代理公司: 北京嘉和天工知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 11269
• 代理人: 甘玲

1.一種從金屬氟化物生產(chǎn)四氟化硅的方法，所述方法包括：

（a）煅燒并混合進(jìn)料與硅石，以生產(chǎn)氟硅酸鹽復(fù)合物；

（b）使所述氟硅酸鹽復(fù)合物與硫酸反應(yīng)，以生產(chǎn)四氟化硅和金屬硫酸鹽；以及

（c）洗滌所述四氟化硅，以移除過量的濕氣、塵和其他酸性氣體，

其中所述進(jìn)料顆粒和硅石在從200微米到600微米范圍的尺寸，并且其中煅燒所述進(jìn) 料在從300℃到400℃范圍的溫度發(fā)生。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中煅燒所述進(jìn)料在從3到25分鐘的停留時(shí)間發(fā)生。

3.如權(quán)利要求1所述的方法，其中使所述氟硅酸鹽復(fù)合物與硫酸反應(yīng)在從100℃到 500℃范圍的溫度發(fā)生。

4.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述硫酸的量是直到20%的化學(xué)計(jì)量過量。

5.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述硫酸具有從50到100%范圍的濃度。

6.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述硫酸具有從98到100%范圍的濃度。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述進(jìn)料中有99%轉(zhuǎn)化效率的所述金屬氟化物。

8.如權(quán)利要求4所述方法，其中所述過量的硫酸被再循環(huán)。

9.如權(quán)利要求1所述的方法，其中所述金屬氟化物是氟化鋁鈉。

10.如權(quán)利要求9所述的方法，其中所述氟化鋁鈉從硅烷制造方法中被再循環(huán)。

11.如權(quán)利要求1所述方法，其中內(nèi)部再循環(huán)增加了所述四氟化硅的收率。