[發明專利]壓電振動片和壓電器件

無效

• 申請號: 201010004779.6
• 申請日: 2005-10-20
• 公開（公告）號: CN101820263A
• 公開（公告）日: 2010-09-01
• 發明（設計）人: 棚谷英雄
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/21
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黃綸偉

本申請是在2005年10月20日提交的申請號為：200510109468.5、 發明名稱為：“壓電振動片和壓電器件”的分案申請。

技術領域

本發明涉及壓電振動片以及在封裝或殼體內收容了壓電振動片的壓 電器件的改良。

背景技術

在HDD（硬盤驅動器）、移動計算機或IC卡等的小型信息設備、或 便攜電話、車載電話或尋呼系統等移動通信設備、或壓電陀螺傳感器等 中，廣泛地使用了壓電振子或壓電振蕩器等壓電器件。

圖17是示出了以往在壓電器件中使用的壓電振動片的一例的概略 平面圖。

在圖中，壓電振動片1通過對石英等壓電材料進行刻蝕而形成圖中 所示的外形，具有安裝在封裝（未示出）等上的矩形的基部2、從基部2 向圖中上方延長的一對振動臂3、4，在這些振動臂的主面（表里面）上 形成有長槽3a、4a，并且形成了必要的驅動用的電極（參照專利文獻1）。

在這種壓電振動片1中，當通過驅動用電極施加驅動電壓時，各振 動臂3、4的末端部接近/離開，進行彎曲振動，從而取出預定頻率的信 號。

不過，這種壓電振動片1在基部2的標號5、6所示的部位形成有引 出電極，在該部分涂布了粘結劑7、8，從而例如固定支持在封裝等的基 體上。

并且，在通過該粘結劑固定支持之后，為了使構成壓電振動片的材 料和封裝等的材料的線膨脹系數之間的差別等所引起的殘余應力不妨礙 振動臂的彎曲振動，在基部2上形成切口部9、9。

在這樣的壓電振動片1中，作為小型化的結果，振動臂3、4的臂寬 W1、W1分別為100μm左右，它們之間的距離MW1為100μm左右，基部 2的寬度BW1為500μm左右。并且，這些部位的尺寸減小，與此對應， 基部的長度BL1的尺寸也減小，從而壓電振動片1得以小型化。

【專利文獻1】日本特開2002-261575

但是，在這樣的小型化的壓電振動片1中，在其溫度特性中，存在 以下的問題。

圖18和圖19是表示壓電振動片1的溫度特性的曲線圖，圖18表示 溫度-頻率特性，圖19表示溫度-CI（晶體阻抗）值特性。

如圖所示，對于圖18的溫度-頻率特性，和以往相比沒有變化，沒 有什么特別的問題，但是在圖19的溫度-CI值特性中，存在變得極不穩 定的問題。

該溫度-CI值特性的惡化被認為是因為在壓電振動片1中，由于溫 度變化，基部2的用粘結劑7、8粘結的部位的應力狀態發生變化而引起 的，在受到跌落沖擊等的情況下，即使基部2的用粘結劑7、8粘結的部 位的應力狀態發生變化，也會產生同樣的影響。

發明內容

本發明就是為了解決以上的課題而提出的，其目的在于，在促進小 型化的基礎上，提供溫度特性良好的壓電振動片和壓電器件。

通過第一發明的壓電振動片達到了上述目的，一種壓電振動片具有： 由壓電材料形成的預定長度的基部；從所述基部的一端側延伸的多個振 動臂；以及支持用臂，其從所述基部沿所述振動臂延伸，所述各振動臂 具有：設置在所述各振動臂的連接根部的位置上的第一縮幅部；從所述 第一縮幅部的終端朝向所述振動臂的末端側的第二縮幅部；沿所述振動 臂的長度方向形成的長槽；以及在所述長槽內形成的驅動用電極，所述 第一縮幅部的寬度減小比所述第二縮幅部更急劇，所述長槽位于所述第 一縮幅部和所述第二縮幅部上，所述第二縮幅部的末端側的終端上具有 所述振動臂的寬度尺寸轉變為固定或增加的臂寬變更點（P），所述臂寬 變更點（P）設置在比所述長槽的末端部更靠近所述振動臂的末端側的位 置。

根據本發明的另一個方面，一種在封裝或殼體內收容了壓電振動片 的壓電器件，所述壓電振動片具有：由壓電材料形成的預定長度的基部； 從所述基部的一端側延伸的多個振動臂；以及支持用臂，其從所述基部 沿所述振動臂延伸，所述各振動臂具有：設置在所述各振動臂的連接根 部的位置上的第一縮幅部；從所述第一縮幅部的終端朝向所述振動臂的 末端側的第二縮幅部；沿所述振動臂的長度方向形成的長槽；以及在所 述長槽內形成的驅動用電極，所述第一縮幅部的寬度減小比所述第二縮 幅部更急劇，所述長槽位于所述第一縮幅部和所述第二縮幅部上，所述 第二縮幅部的末端側的終端上具有所述振動臂的寬度尺寸轉變為固定或 增加的臂寬變更點（P），所述臂寬變更點（P）設置在比所述長槽的末端 部更靠近所述振動臂的末端側的位置。