[發明專利]連續生產線制備銅銦鎵硒軟體薄膜太陽能光電池的方法

無效

• 申請號: 201010003169.4
• 申請日: 2010-01-10
• 公開（公告）號: CN101771105A
• 公開（公告）日: 2010-07-07
• 發明（設計）人: 郭玉欽;李鐵強
• 申請（專利權）人: 郭玉欽
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種連續生產線制備銅銦鎵硒軟體薄膜太陽能光電池的方法；它將清洗后的不銹鋼卷材在磁控濺射鍍膜成套生產線張力卷繞機(1)、(11)，的拖動下展為帶材勻速通過真空隔離窄縫伐(15-1)進入等離子輝光放電真空室(2)，進行清洗、通過真空隔離窄縫伐(15-2)進入真空濺鍍絕緣膜室(3)，濺鍍TiO2絕緣膜、再通過真空隔離窄縫伐(15-3)進入真空濺鍍背電極室(4)，濺鍍Cu-Mo背電極膜，再通過真空隔離窄縫伐(15-4)進入P結真空濺鍍室(5)，濺鍍CIGS半導體P結吸收膜、再通過真空隔離窄縫伐(15-5)進入真空熱處理室(6)，在300---600℃氮氣中進行熱處理、再通過真空隔離窄縫伐(15-6)進入真空冷卻室(7)，在氮氣中冷卻250℃以下：再通過真空隔離窄縫伐，(15-7)進入n結真空濺射室(8)，濺鍍InS或ZnS半導體n結膜、再通過真空隔離窄縫伐(15-8)進入真空濺鍍室(9)，濺鍍I-ZnO過渡層膜：再通過真空隔離窄縫伐(15-9)進入真空濺鍍室(10)，濺鍍AL:ZnO或ITO透明導電膜、由真空隔離窄縫伐封閉(15-10)、再隨機在已濺射膜后的帶箔上，鋪一隔層用的保護層，由后漲力卷繞機(11)，卷繞為卷材；而后由剪切機(12)，切為塊狀，再用超聲波焊機(13)，焊接電極、并封裝EVA保護膜(14)，即制完成了太陽能光電池組件：磁控濺射鍍膜成套設備生產線由真空泵抽為真空，送入工作氣體氬氣，由微抽分子泵保持工作壓力。磁控濺射鍍膜成套設備生產線在正常工作狀況下不破壞真空度。

2.根據權利要求書(1)所述的連續生產線制備銅銦鎵硒軟體薄膜太陽能光電池的方法；其特征是；濺鍍CIGS半導體P結吸收膜后的卷材帶箔、通過真空隔離窄縫伐(15-5)進入真空熱處理室(6)，在300---600℃氮氣中進行熱處理、1-10分鐘替代了原來的硒化或硫化工藝。