[發明專利]印刷方法和顯示設備制造方法

無效

• 申請號: 201010002081.0
• 申請日: 2010-01-07
• 公開（公告）號: CN101791899A
• 公開（公告）日: 2010-08-04
• 發明（設計）人: 田中正信;龜井隆廣
• 申請（專利權）人: 索尼公司
• 主分類號: B41F16/00
• 分類號: B41F16/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 彭久云

技術領域

本發明涉及采用墊板(blanket)和凸版(relief?printing?plate)的印刷方 法，以及采用該印刷方法的顯示設備制造方法。

背景技術

近年來，已經大力發展了所謂“可印刷的電子裝置(printable?electronics)” 的技術領域。可印刷的電子裝置的目標是利用印刷方法和納米壓印方法以低 成本來制造迄今完全采用半導體制造技術生產的昂貴電子部件。另一個目標 是用膜代替基板，以提供柔性裝置。

因此，在現有技術中，已經提出了各種印刷方法(例如，日本專利No. 3689536和非專利文件，Youn-Gyoung，et?al.″Design?Parameters?of?Roll Printing?Process?for?TFT-LCD?Fabrication″，SID08GIGEST，p.637-640，2008)。

發明內容

在日本專利No.3689536中，提出了采用反轉膠印印刷方法(reverse offset?printing?method)精確地印刷樹脂(例如，抗蝕劑材料)的方法。具體 地講，通過采用用于彩色濾色器的樹脂作為油墨，獲得厚度為0.8μm的印 刷圖案。盡管沒有詳細描述印刷圖案的分辨率，但是所希望的目標線寬至少 為約50μm，這是因為彩色濾色器是用于液晶顯示器。在日本專利No. 3689536中，因為給出了“這表明可以印刷寬度為10μm的線”的描述，所 以該印刷方法的尺寸極限估計為約10μm。

Youn-Gyoung等人的非專利文件“Design?Parameters?of?Roll?Printing Process?for?TFT-LCD?Fabrication”(2008年，SID08GIGEST，637-640頁)提 出了采用反轉膠印印刷方法來形成薄膜晶體管的方法。在該方法中觀察到， 在印刷膜厚度為約1μm的抗蝕劑圖案時，根據印刷方向而出現約0.5至4.0 μm的圖案邊緣模糊。

如上所述，在現有技術中，在印刷樹脂、有機溶劑等構成的油墨時，出 現了印刷圖案的銳度(sharness)隨著膜的厚度增加而降低的問題。

本發明是考慮到上述問題而做出的，并希望提供一種印刷方法及采用該 印刷方法的顯示設備制造方法，在該印刷方法中不論印刷圖案的膜厚均可以 執行銳度優于現有技術的印刷。

根據本發明實施例的印刷方法包括如下步驟：在墊板上形成轉印層；通 過將包括突起部的成型構件的該突起部壓向轉印層，在轉印層上形成凹槽部 分，該突起部具有預定的圖案，該凹槽部分具有與該突起部對應的圖案；在 第一轉印工藝中，通過使墊板上的轉印層和包括凸部的凸版彼此面對并使他 們加壓接觸在一起以選擇性地去除轉印層上對應于凸部的部分，在墊板上形 成印刷圖案層，該凸部具有與該突起部的反轉圖案對應的圖案；以及在第二 轉印工藝中，通過使墊板上的印刷圖案層和要被印刷的基板彼此面對并使他 們加壓接觸在一起，將印刷圖案層轉印到要被印刷的基板上。“凹槽部分” 不限于具有狹長形狀的圖案，而是可以為具有任何形狀的圖案。

根據本發明實施例的顯示設備制造方法包括在基板上形成顯示元件和 驅動該顯示元件的薄膜晶體管的步驟，上述形成薄膜晶體管的步驟包括如下 步驟：在墊板上形成轉印層；通過將包括突起部的成型構件的該突起部壓向 轉印層，在轉印層上形成凹槽部分，該突起部具有預定的圖案，該凹槽部分 具有與該突起部對應的圖案；在第一轉印工藝中，通過使墊板上的轉印層和 包括凸部的凸版彼此面對并使他們加壓接觸在一起以選擇性地去除轉印層 上對應于凸部的部分，在墊板上形成印刷圖案層，該凸部具有與該突起部的 反轉圖案對應的圖案；以及在第二轉印工藝中，通過使墊板上的印刷圖案層 和作為要被印刷基板的基板彼此面對并使他們加壓接觸在一起，將印刷圖案 層轉印到基板上；以及通過采用印刷圖案層形成薄膜。