[發明專利]基于MEMS技術的可調帶通濾波器

無效

• 申請號: 201010000943.6
• 申請日: 2010-01-21
• 公開（公告）號: CN101777677A
• 公開（公告）日: 2010-07-14
• 發明（設計）人: 鄧中亮;張乃柏;黃建明;韓柯
• 申請（專利權）人: 北京郵電大學
• 主分類號: H01P1/20
• 分類號: H01P1/20;B81B7/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.基于MEMS(微電子機械系統)技術的可調帶通濾波器結構，包括共面波導結構，MEMS開關，其特征在于共面波導信號線(1)的中間部位(3)被切斷；在信號線部位(3)上方加載MEMS開關(9)；MEMS開關高度(6)通過加載在信號線和地之間的直流電壓不同來調節。

2.根據權利要求1所述的一種基于MEMS技術的可調帶通濾波器結構，其特征在于信號線的厚度(4)與地的厚度(11)不相等；MEMS開關高度(6)與尺寸(5)的比值和MEMS開關(6)高度調節有關聯，比值不大于0.5時可以使MEMS開關高度(6)全程可控，比值大于0.5時MEMS開關高度(6)不可全程可控；。

3.根據權利要求1所述的一種基于MEMS技術的可調帶通濾波器結構，其特征在于MEMS開關(9)跨接于信號線兩邊的地上，其中一端直接接地，另一端通過介質(8)與地隔離絕緣。

4.根據權利要求1所述的一種基于MEMS技術的可調帶通濾波器結構，其特征在于MEMS開關(9)的面積大于信號線中間部位切斷部分的面積，且MEMS開關(9)對地覆蓋的面積大于對信號線(1)和對襯底(10)的覆蓋面積之和。