[發明專利]具有改良的性能的切削液

有效

• 申請號: 200980161987.2
• 申請日: 2009-10-16
• 公開（公告）號: CN102597189A
• 公開（公告）日: 2012-07-18
• 發明（設計）人: 于旺林;D·A·阿奎拉;J·B·卡斯伯特;Y-P·朱
• 申請（專利權）人: 陶氏環球技術有限責任公司
• 主分類號: C10M107/34
• 分類號: C10M107/34;C10M145/26
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 吳亦華;徐志明

1.一種用具有500至1,000,000的分子量和每個分子包含多于三個的酸基團的未中和的或部分中和的聚合酸中和的聚亞烷基二醇。

2.權利要求1的聚亞烷基二醇，其中該聚合酸是用丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸中的一種或多種自由基接枝的聚環氧烷。

3.權利要求1的聚亞烷基二醇，其中該聚合酸是丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物且用聚環氧烷或聚環氧烷的單烷基或芳基醚接枝。

4.權利要求1的聚亞烷基二醇，其中該聚合酸是丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物。

5.一種制備中和的聚亞烷基二醇的方法，該方法包括以下步驟：

A.利用堿催化劑聚合環氧烷，以形成堿性PAG；和

B.用中和量的具有500至1,000,000的分子量和每個分子包含多于三個的酸基團的未中和的或部分中和的聚合酸中和該堿性PAG。

6.權利要求5的方法，其中該聚合酸是用丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸中的一種或多種自由基接枝的聚環氧烷。

7.權利要求5的方法，其中該聚合酸是丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物。

8.權利要求5的方法，其中該聚合酸是丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物且用聚環氧烷或聚環氧烷的單烷基或芳基醚接枝。

9.一種切削液，其包含用具有500至1,000,000的分子量和每個分子包含多于三個的酸基團的未中和的或部分中和的聚合酸中和的PAG。

10.權利要求9的切削液，其中該聚合酸是用丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸中的一種或多種自由基接枝的聚環氧烷；丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物；或用聚環氧烷或聚環氧烷的單烷基或芳基醚接枝的這種均聚物或共聚物。

11.一種用線狀鋸切割半導體晶體的方法，該方法包括在用線狀鋸切割晶體時，將包含用具有500至1,000,000的分子量和每個分子包含多于三個的酸基團的未中和的或部分中和的聚合酸中和的PAG的切削液施用于晶體的步驟。

12.權利要求11的方法，其中該聚合酸是用丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸中一種或多種自由基接枝的聚環氧烷；丙烯酸、甲基丙烯酸、順丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物；或用聚環氧烷或聚環氧烷的單烷基或芳基醚接枝的這種均聚物或共聚物。