[發(fā)明專利]修復(fù)壓電構(gòu)件中的缺陷

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980161912.4
• 申請日: 2009-10-12
• 公開（公告）號: CN102576801A
• 公開（公告）日: 2012-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: P.馬迪洛維奇;H.A.范德普拉斯;K.M.烏爾默
• 申請（專利權(quán)）人: 惠普發(fā)展公司;有限責(zé)任合伙企業(yè)
• 主分類號: H01L41/22
• 分類號: H01L41/22;H01L41/24
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 薛峰

1.?一種修復(fù)壓電構(gòu)件（12）中的缺陷的方法，包括：

提供含有溶劑和單體的溶液（10）；

將所述溶液（10）涂布到所述壓電構(gòu)件（12）的表面（16）的一個區(qū)域上，使得所述溶液（10）流入一個或多個缺陷（18）中；

去除至少一部分所述溶劑，以在所述缺陷（18）中形成單體膜（20）；以及

在所述缺陷（18）中使所述單體膜（20）聚合，以在所述缺陷（18）中形成聚合物膜（22）。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述單體包括選自丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、和丙烯腈中的至少一種丙烯酸單體。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述溶液包括選自甲醇、乙醇、異丙醇、和水中的至少一種溶劑。

4.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述溶液（10）具有小于20厘泊的粘度。

5.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述溶液（10）在所述表面（16）上具有小于90度的接觸角。

6.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中涂布所述壓電構(gòu)件（12）的表面（16）的一個區(qū)域包括：對形成在所述壓電構(gòu)件（12）的凹槽（14）中的內(nèi)表面（16）進(jìn)行涂布。

7.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，進(jìn)一步包括：

檢測所述壓電構(gòu)件（12）中缺陷（18）的位置；以及

至少部分地基于檢測到的位置，來確定將對所述表面（16）的哪個區(qū)域涂布所述溶液（10）。

8.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述缺陷（18）是納米裂縫，而且所述溶液（10）流入并基本填滿所述納米裂縫。

9.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述單體通過紫外線而被聚合。

10.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述單體通過加熱而被聚合。

11.?一種流體運(yùn)動裝置（50），包括：

壓電構(gòu)件（52），其包括一個或多個致動器區(qū)域（56）；

凹槽（64），其包括位于所述壓電構(gòu)件（52）中的內(nèi)壁（66）；以及

聚合物（68），其至少部分地涂布在所述凹槽（64）的所述內(nèi)壁（66）上，其中所述聚合物（68）至少部分地位于所述內(nèi)壁（66）的一個或多個缺陷（70）內(nèi)。

12.?根據(jù)權(quán)利要求11所述的流體運(yùn)動裝置（50），其中所述凹槽（64）將相鄰的致動器區(qū)域（56）分隔開。

13.?根據(jù)權(quán)利要求11所述的流體運(yùn)動裝置（50），其中所述聚合物（68）是丙烯酸聚合物。

14.?根據(jù)權(quán)利要求11所述的流體運(yùn)動裝置（50），其中所述缺陷（70）基本上被所述聚合物（68）填滿。

15.?根據(jù)權(quán)利要求11所述的流體運(yùn)動裝置（50），其中所述缺陷（70）是納米裂縫，所述聚合物（68）基本延伸了所述納米裂縫的整個長度。