[發(fā)明專利]測試裝置、校正方法及程序

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980160165.2
• 申請日: 2009-06-29
• 公開（公告）號: CN102460194A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發(fā)明（設計）人: 小塚紀義
• 申請（專利權）人: 愛德萬測試株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 北京英特普羅知識產權代理有限公司 11015
• 代理人: 齊永紅

技術領域

本發(fā)明涉及測試裝置、校正方法及程序。

背景技術

測試裝置，在每個測試周期內，在從基準相位延遲了指定的時間的時序中，輸出指定波形的測試信號。另外，測試裝置，在從基準相位延遲了所指定的時間的時序中，取得來自被測試器件的響應信號值。另外，測試裝置，具備與被測試器件進行信號收發(fā)的多個信號輸入輸出部。調整多個信號輸入輸出部，以使在測試之前，彼此的基準相位一致(專利文獻1)。

專利文獻1：日本專利第3565837號說明書。

發(fā)明所要解決的問題

不過，多個信號輸入輸出部分散設置于多個基板上，由于每塊基板條件(例如，連接器的嵌合條件等)的不同，兩個信號輸入輸出部間基準相位的相位差，與在同一基板內的情況相比，在不同基板上時容易變大。

于是，要使多個信號輸入輸出部的基準相位一致時，測試裝置，將多個信號輸入輸出部分成各個群組(例如各基板)，首先，在群組內調整信號輸入輸出部的基準相位，接著在群組間調整信號輸入輸出部的基準相位。由此，測試裝置能夠高效率地使多個信號輸入輸出部的基準相位一致。

此處，以兩階段進行調整時，測試裝置需要用于在群組內調整信號輸入輸出部的基準相位的校正用插件和用于在群組間調整信號輸入輸出部的基準相位的校正用插件。作為一例，在群組內的調整用校正用插件，設置有將群組內鄰接端子短路的配線。測試裝置，使用這種校正用插件，依序使互相連接的兩信號輸入輸出部間的基準相位一致。由此，測試裝置，能夠使群組內所有信號輸入輸出部的基準相位一致。

另一方面，作為一例，在群組間的調整用校正用插件，被設置有將不同群組間的多個端子一對一短路的配線。測試裝置，使用這種校正用插件，算出在不同群組間一對互相連接著的兩信號輸入輸出部的基準相位的差。然后，測試裝置，使一方群組內的多個信號輸入輸出部的基準相位，各自偏移多個對基準相位差的平均值。由此，測試裝置能夠使不同群組之間的多個信號輸入輸出部的基準相位一致。

然而，若像這樣以兩個階段進行調整，便至少需要兩種用來調整基準相位而裝載在測試裝置主體上的校正用插件。于是，校正用插件裝載作業(yè)的時間及校正用插件的費用等會增大，結果，會增加測試成本。

發(fā)明內容

為了解決上述問題，在本發(fā)明的第一方式中，提供一種測試裝置，用于測試被測試器件，其具有第一端子群組和第二端子群組，所述第一端子群組和所述第二端子群組具有向所述被測試器件輸出信號的多個驅動器；第一共用設定部，其共用地設定從所述第一端子群組中的一驅動器和所述第二端子群組中的一驅動器輸出的信號的延遲量；以及群組間調整部，其基于所述第一共用設定部在所述第一端子群組內調整基準相位時所設定的延遲量設定值，及所述第一共用設定部在所述第二端子群組內調整基準相位時所設定的延遲量設定值，來拉近從所述第一端子群組內的多個驅動器輸出的信號的基準相位與從所述第二端子群組內的多個驅動器輸出的信號的基準相位。同時，提供校正這種測試裝置的校正方法及程序。

此外，上述的發(fā)明概要，并沒有列舉出本發(fā)明的所有必要特征。另外，這些特征群的次組合也可成為發(fā)明。

附圖說明

圖1與被測試器件300一起表示本實施方式涉及的測試裝置10的硬件構成。

圖2表示本實施方式涉及的測試裝置10在校正時的功能構成。

圖3表示輸入輸出部30的構成的例子。

圖4表示輸出同一信號的兩個輸入輸出部30的構成的例子。

圖5表示本實施方式涉及的測試裝置10的校正處理流程。

圖6表示步驟S11的處理的信號流動。

圖7表示步驟S12的處理的信號流動。

圖8表示步驟S13的處理的信號流動。

圖9表示將第一組端子群組的延遲量的設定值平均設為0時，在端子群組內進行基準相位調整后，第一組至第四組端子群組的延遲量的設定值的例子。

圖10表示在圖9的內容之外，再加上以第四組端子群組的延遲量設定值作為基準的第一組端子群組的延遲量設定值的例子。

圖11表示步驟S12的其他處理的連接例。

圖12表示本實施方式涉及的電腦1900的硬件構成的例子。

具體實施方式

以下通過發(fā)明的實施方式來說明本發(fā)明，但以下的實施方式并非對權利要求范圍的發(fā)明作出限制。另外，發(fā)明的解決手段不一定必需包含實施方式中所說明的特征的所有組合。