[發明專利]壓印用模具及其制造方法

有效

• 申請號: 200980159699.3
• 申請日: 2009-10-27
• 公開（公告）號: CN102458800A
• 公開（公告）日: 2012-05-16
• 發明（設計）人: 仲野真一;河原伸一郎;松井真二;岡田真
• 申請（專利權）人: 新田股份有限公司;兵庫縣
• 主分類號: B29C59/02
• 分類號: B29C59/02;B29C33/40;H01L21/027
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 雒運樸

1.一種壓印用模具，其具備在表面上具有微小圖案的表面層和支承該表面層的與所述表面相反的背面的支承層，所述表面層含有側鏈結晶性聚合物。

2.根據權利要求1所述的壓印用模具，其中，

所述側鏈結晶性聚合物在低于熔點的溫度下結晶化并在所述熔點以上的溫度下顯示流動性。

3.根據權利要求1或2所述的壓印用模具，其中，

所述側鏈結晶性聚合物的熔點為30℃以上。

4.根據權利要求1-3中的任一項所述的壓印用模具，其中，

所述側鏈結晶性聚合物為使具有碳數16以上的直鏈狀烷基的(甲基)丙烯酸酯20～100重量份、具有碳數1～6的烷基的(甲基)丙烯酸酯0～70重量份、極性單體0～10重量份聚合而得到的共聚體。

5.根據權利要求1-4中的任一項所述的壓印用模具，其中，

所述側鏈結晶性聚合物的重均分子量為100,000以上。

6.根據權利要求1-5中的任一項所述的壓印用模具，其中，

對所述微小圖案未實施脫模處理。

7.根據權利要求1-6中的任一項所述的壓印用模具，其中，

所述微小圖案為納米至微米級。

8.根據權利要求1-7中的任一項所述的壓印用模具，其中，

對支承所述表面層的所述支承層的表面實施了表面處理。

9.一種壓印用模具的制造方法，其包括：

在支承層上層疊含側鏈結晶性聚合物的表面層的工序；

利用具有微小圖案的主模在所述側鏈結晶性聚合物的熔點以上的溫度下對該表面層的表面進行加壓的工序；以及

隨后使所述表面層的溫度成為低于側鏈結晶性聚合物的熔點的溫度，從所述表面層的表面剝離主模，將主模的所述微小圖案轉印至表面層的表面的工序。

10.根據權利要求9所述的壓印用模具的制造方法，其中，

對層疊有所述表面層的所述支承層的表面實施表面處理。

11.根據權利要求9或10所述的壓印用模具的制造方法，其中，

對所述主模的微小圖案未實施脫模處理。

12.根據權利要求9-11中的任一項所述的壓印用模具的制造方法，其中，

構成所述主模的材料為選自硅、硅酮及(SiO₂)玻璃中的任一種。

13.根據權利要求9-12中的任一項所述的壓印用模具的制造方法，其中，

在所述側鏈結晶性聚合物的熔點+10℃～熔點+30℃的溫度下進行所述加壓。