[發(fā)明專利]功率用半導(dǎo)體裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980159009.4
• 申請(qǐng)日: 2009-04-28
• 公開（公告）號(hào): CN102414825A
• 公開（公告）日: 2012-04-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中田和成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L29/78
• 分類號(hào): H01L29/78;H01L21/3205;H01L21/60;H01L23/52;H01L29/739
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 閆小龍;王忠忠

1.一種功率用半導(dǎo)體裝置，其特征在于，具有：

半導(dǎo)體層（SL）；

柵極電極（26），用于對(duì)流過所述半導(dǎo)體層（SL）的電流進(jìn)行控制；

柵極絕緣膜（29），將所述半導(dǎo)體層（SL）以及所述柵極電極（26）彼此電絕緣；

導(dǎo)體部（24），設(shè)置在所述半導(dǎo)體層（SL）上，并且與所述半導(dǎo)體層（SL）電連接；

層間絕緣膜（25），以所述導(dǎo)體部（24）與所述柵極電極（26）電絕緣的方式設(shè)置在所述柵極電極（26）上；

緩沖絕緣膜（23），覆蓋所述導(dǎo)體部（24）以及層間絕緣膜（25）上的一部分區(qū)域，并且由絕緣體構(gòu)成；以及

電極層（21），具有位于所述導(dǎo)體部（24）露出的區(qū)域上的布線部分（21w）和位于所述緩沖絕緣膜（23）上的焊盤部分（21p）。

2.如權(quán)利要求1所述的功率用半導(dǎo)體裝置，其特點(diǎn)在于，

所述柵極電極（26）是溝槽柵極。

3.如權(quán)利要求2所述的功率用半導(dǎo)體裝置，其特征在于，

在平面圖中與所述溝槽柵極延伸的方向平行的所述緩沖絕緣膜（23）的端部位于所述層間絕緣膜（25）上。

4.如權(quán)利要求1所述的功率用半導(dǎo)體裝置，其特征在于，

所述緩沖絕緣膜(23)具有所述電極層（21）的所述焊盤部分（21p）的厚度的五分之一以上并且五分之四以下的厚度。

5.如權(quán)利要求1所述的功率用半導(dǎo)體裝置，其特征在于，

所述緩沖絕緣膜（23）具有所述電極層（21）的面積的二分之一以下的面積。

6.如權(quán)利要求1所述的功率用半導(dǎo)體裝置，其特征在于，

所述緩沖絕緣膜（23）是TEOS膜、SOG膜、有機(jī)類絕緣膜的任意一種。

7.如權(quán)利要求1所述的功率用半導(dǎo)體裝置，其特征在于，

還具有與所述電極層（21）的所述焊盤部分（21p）接合的引線（22），

所述焊盤部分（21p）具有所述引線（22）的寬度尺寸以上并且所述引線（22）的寬度尺寸的3倍以下的寬度尺寸。

8.如權(quán)利要求1所述的功率用半導(dǎo)體裝置，其特征在于，

還具有與所述電極層（21）的所述焊盤部分（21p）接合的引線（22），

所述焊盤部分（21p）具有所述焊盤部分（21p）的與所述引線（22）接合的部分（44）的長(zhǎng)度的3倍以下的長(zhǎng)度。