[發(fā)明專利]TFT陣列檢查方法以及TFT陣列檢查裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200980156196.0
• 申請(qǐng)日: 2009-02-04
• 公開（公告）號(hào): CN102308202A
• 公開（公告）日: 2012-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西原隆治
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社島津制作所
• 主分類號(hào): G01N23/225
• 分類號(hào): G01N23/225;G01R31/26;G02F1/13;G02F1/133;G02F1/1368;G09F9/00;H01L21/66;H01L29/786
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種TFT基板的檢查方法，對(duì)TFT基板的TFT陣列施加電壓，對(duì)通過(guò)電子束的照射而獲得的二次電子進(jìn)行檢測(cè)，從而檢查TFT陣列的缺陷，該TFT基板的檢查方法的特征在于，

將用于掃描TFT陣列的所有像素的時(shí)間寬度設(shè)為一幀，

在包含多個(gè)上述幀的一個(gè)柵極周期內(nèi)，作為用于驅(qū)動(dòng)像素的驅(qū)動(dòng)模式，具有以下電壓模式：在上述多個(gè)幀內(nèi)的時(shí)間上的第一幀的初始期間將電壓設(shè)為正電壓和負(fù)電壓中的某一種電壓，之后，在上述第一幀的剩余期間以及第二幀之后的幀內(nèi)使上述電壓進(jìn)行正負(fù)反轉(zhuǎn)，

使用上述電壓模式來(lái)對(duì)TFT陣列的像素施加上述第一幀的初始期間的正電壓和負(fù)電壓中的某一種電壓，之后，在上述一個(gè)柵極周期的整個(gè)時(shí)間寬度內(nèi)保持對(duì)上述像素施加的電壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的TFT基板的檢查方法，其特征在于，

在上述第一幀的初始期間內(nèi)，通過(guò)將上述TFT陣列的TFT設(shè)為導(dǎo)通狀態(tài)，從而對(duì)TFT陣列的像素施加上述第一幀的初始期間的正電壓和負(fù)電壓中的某一種電壓，

通過(guò)將上述TFT陣列的TFT設(shè)為截止?fàn)顟B(tài)，在上述一個(gè)柵極周期的整個(gè)時(shí)間寬度內(nèi)保持對(duì)上述像素施加的電壓。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的TFT基板的檢查方法，其特征在于，

對(duì)于上述TFT陣列使柵極線與源極線柵格狀地排列，

根據(jù)施加于上述柵極線的柵極信號(hào)來(lái)控制TFT陣列的TFT的導(dǎo)通狀態(tài)和截止?fàn)顟B(tài)，

根據(jù)施加于上述源極線的源極信號(hào)，經(jīng)由上述導(dǎo)通狀態(tài)的TFT來(lái)對(duì)像素施加電壓模式的電壓，使上述像素保持被施加的電壓。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項(xiàng)所述的TFT基板的檢查方法，其特征在于，

通過(guò)使經(jīng)由附加電容連接于上述像素的共用線的電壓向負(fù)側(cè)偏移，從而增大正常像素與短路缺陷像素之間的電壓差。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的TFT基板的檢查方法，其特征在于，

在上述一個(gè)柵極周期所具備的多個(gè)幀內(nèi)，根據(jù)對(duì)在時(shí)間上靠后的幀內(nèi)進(jìn)行掃描而獲取的檢測(cè)信號(hào)來(lái)進(jìn)行缺陷檢測(cè)。

6.一種TFT基板的檢查裝置，對(duì)TFT基板的TFT陣列施加電壓，根據(jù)通過(guò)電子束的照射而獲得的二次電子來(lái)檢測(cè)基于該施加電壓的電壓狀態(tài)，從而對(duì)TFT陣列的缺陷進(jìn)行檢查，該TFT基板的檢查裝置的特征在于，具備：

電子束源，其對(duì)TFT基板照射電子束；

檢測(cè)器，其檢測(cè)從TFT基板發(fā)射出的二次電子；

檢查信號(hào)生成部，其生成檢查信號(hào)并將該檢查信號(hào)施加到TFT基板的TFT陣列；以及

缺陷檢測(cè)部，其根據(jù)上述檢測(cè)器的檢測(cè)信號(hào)來(lái)檢測(cè)TFT陣列的缺陷，

其中，上述檢查信號(hào)生成部將用于掃描TFT陣列的所有像素的時(shí)間寬度設(shè)為一幀，在包含多個(gè)上述幀的一個(gè)柵極周期內(nèi)，生成具備作為用于驅(qū)動(dòng)像素的驅(qū)動(dòng)模式的以下電壓模式的檢查信號(hào)，該電壓模式為：在上述多個(gè)幀內(nèi)的在時(shí)間上的第一幀的初始期間將電壓設(shè)為正電壓和負(fù)電壓中的某一種電壓，之后，在上述第一幀的剩余期間以及第二幀之后的幀內(nèi)使上述電壓進(jìn)行正負(fù)反轉(zhuǎn)，

上述缺陷檢測(cè)部使用上述電壓模式來(lái)對(duì)TFT陣列的像素施加上述第一幀的初始期間的正電壓和負(fù)電壓中的某一種電壓，之后，在上述一個(gè)柵極周期的整個(gè)時(shí)間寬度內(nèi)保持對(duì)上述像素施加的電壓，根據(jù)由該電壓保持所獲取的像素電壓來(lái)檢測(cè)像素的缺陷。