[發明專利]用于印刷電子部件的功能材料

有效

• 申請號: 200980154098.3
• 申請日: 2009-12-10
• 公開（公告）號: CN102272094A
• 公開（公告）日: 2011-12-07
• 發明（設計）人: R·屈格勒;A·克呂斯茲克茲;S·倫克爾;J·J·施奈德;R·霍夫曼
• 申請（專利權）人: 默克專利有限公司
• 主分類號: C07C251/70
• 分類號: C07C251/70;C23C18/12;H01L21/335;H05K3/12;H05K3/14
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 李穎;林柏楠

1.用于涂布電子部件的前體，其特征在于其包含含有至少一個選自肟酸根類的配體的有機金屬鋁、鎵、釹、釕、鎂、鉿、鋯、銦和/或錫絡合物或它們的混合物。

2.根據權利要求1的前體，其特征在于該配體是2-(甲氧基亞氨基)鏈烷酸根、2-(乙氧基亞氨基)鏈烷酸根或2-(羥基亞氨基)-鏈烷酸根。

3.根據權利要求1和/或2的前體，其特征在于其可印刷并以印刷的場效應晶體管(FET)中的印刷墨或印刷糊形式使用。

4.具有下列薄層的印刷電子部件：

·剛性或撓性的導電襯底或具有導電層的絕緣襯底(柵)

·包含可由根據權利要求1至3的一項或多項的相應前體獲得的鋁、鎵、釹、鎂、鉿或鋯氧化物的絕緣體

·至少一個電極(漏極)

·半導體。

5.具有下列薄層的印刷電子部件：

·包含可由根據權利要求1至3的一項或多項的相應前體獲得的氧化銦錫(ITO)的剛性或撓性的導電襯底或具有導電層的絕緣襯底(柵)

·絕緣體

·至少一個電極(漏極)

·半導體。

6.具有下列薄層的印刷電子部件：

·剛性或撓性的導電襯底或具有導電層的絕緣襯底(柵)

·絕緣體

·至少一個電極(漏極)

·半導體，其包含可由根據權利要求1至3的一項或多項的相應前體獲得的氧化銦鎵鋅(IGZO)或氧化鋅錫(ZTO)。

7.根據權利要求4、5和/或6的印刷電子部件，其特征在于該襯底可以是剛性襯底，如玻璃、陶瓷、金屬或塑料襯底，或撓性襯底，特別是塑料膜或金屬箔。

8.制備根據權利要求1至3的一項或多項的前體的方法，其特征在于使至少一種氧代羧酸與至少一種羥胺或烷基羥胺在堿存在下反應，隨后加入無機鋁、鎵、釹、釕、鎂、鉿、鋯、銦和/或錫鹽或它們的混合物。

9.根據權利要求8的方法，其特征在于所用氧代羧酸是氧代乙酸、氧代丙酸或氧代丁酸。

10.制造具有鋁、鎵、釹、釕、鎂、鉿、鋯、銦和/或錫氧化物層或表面或它們的混合物的電子結構的方法，其特征在于

a)通過浸涂、旋涂或噴墨印刷或苯胺印刷/凹版印刷，將包含根據權利要求1至3的一項或多項的有機金屬鋁、鎂、鎵、釹、釕、鉿、鋯、銦和/或錫絡合物或它們的混合物的前體溶液以對應于要獲得的電子結構的一層或多層施加到襯底上，

b)施加的前體層在空氣或氧氣氣氛中加熱或干燥，形成鋁、鎵、釹、釕、鎂、鉿、鋯、銦和/或錫氧化物層或表面或它們的混合物，

c)最后，施加的電子結構可以用絕緣層密封，被供以觸點并完成。

11.根據權利要求10的方法，其特征在于加熱過程中的溫度T≥80℃。

12.根據權利要求10的方法，其特征在于通過用波長＜400納米的紫外光照射來進行加熱或干燥。

13.根據權利要求10至12的一項或多項的方法，其特征在于所述氧化鋁、氧化鎵、氧化釹、氧化釕、氧化鎂、氧化鉿或氧化鋯層具有在兩個導體之間的＞0.1MV/cm的擊穿電壓。

14.根據權利要求10至12的一項或多項的方法，其特征在于所述氧化銦錫層(ITO層)具有＜10^-3ohm·cm的通過四點測量法測得的比電阻。

15.根據權利要求10至12的一項或多項的方法，其特征在于所述氧化銦鎵鋅(IGZO)層或氧化鋅錫(ZTO)層具有＞10^-3cm²/Vs的電荷載流子遷移率。

16.根據權利要求1至3的一項或多項的前體用于制造場效應晶體管中的一個或多個功能層的用途。