[發明專利]墊圈型測流孔及使用該測流孔的壓力式流量控制裝置

有效

• 申請號: 200980152480.0
• 申請日: 2009-11-12
• 公開（公告）號: CN102265043A
• 公開（公告）日: 2011-11-30
• 發明（設計）人: 廣瀨隆;筱原努;吉田俊英;執行耕平;山路道雄
• 申請（專利權）人: 株式會社富士金
• 主分類號: F15D1/02
• 分類號: F15D1/02;F16L55/00;G01F1/00;G01F1/42
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 崔幼平;楊楷

技術領域

本發明涉及在夾設于半導體制造設備或化學工業設備、藥品工業設備、食品工業設備等的流體供給線中、進行流體的流量控制的壓力式流量控制裝置中使用的墊圈型測流孔及使用該測流孔的壓力式流量控制裝置，特別設計密封性良好、并且能夠實現省空間化的墊圈型測流孔及使用該測流孔的壓力式流量控制裝置。

背景技術

以往，作為這種墊圈型測流孔及使用該測流孔的壓力式流量控制裝置，已知有例如在特開2007－057474號公報（參照專利文獻1）中公開的構造。

即，上述墊圈型測流孔20如圖19所示，是將具備嵌合用突部21a的測流孔基座21與具備嵌合用凹部22a的測流孔基座22組合、在兩測流孔基座21、22的端面之間以氣密狀插裝形成有測流孔口（圖示省略）的測流孔板23、并且將兩測流孔基座21、22的外側端面分別作為密封面21b、22b的結構。

該墊圈型測流孔20由于在使外側端面為密封面21b、22b的兩測流孔基座21、22之間插裝測流孔板23，所以能夠不發生變形而將測流孔板23夾持到兩測流孔基座21、22之間。結果，具有能夠使用具有高精度的測流孔口的很薄的金屬板制的測流孔板23、并且能夠不使測流孔板23變形而組裝到壓力式流量控制裝置中的優點。

此外，使用上述墊圈型測流孔20的壓力式流量控制裝置雖然沒有圖示，但具備控制閥、配設在控制閥的下游側的流體通路上的墊圈型測流孔20、配設在墊圈型測流孔20的上游側、檢測墊圈型測流孔20的上游側壓力的壓力傳感器、和控制控制閥的控制電路，是一邊根據墊圈型測流孔20的上游側壓力運算測流孔通過流量一邊通過控制閥的開閉來控制測流孔通過流量的裝置。

該壓力式流量控制裝置由于使用上述墊圈型測流孔20，所以具有能夠防止測流孔20的安裝時的變形的優點。

以往的墊圈型測流孔20由于使兩測流孔基座21、22的外側端面分別為密封面21b、22b，所以當裝入到壓力式流量控制裝置的流體通路時，能夠充分確保墊圈型測流孔20的兩端面的密封性。

但是，該墊圈型測流孔20由于將測流孔板23收容到測流孔基座22的嵌合用凹部22a內、通過將測流孔基座21的嵌合用突部21a向測流孔基座22的嵌合用凹部22a內壓入、將測流孔板23以氣密狀插裝到兩測流孔基座21、22之間，所以有為了完全防止從測流孔板23的密封部向外部泄露、在測流孔板23的壓入工序中需要仔細注意的問題。

另一方面，在使用測流孔的壓力式流量控制裝置中，開發了在控制閥的下游側形成兩個并列狀的流體通路、在一個流體通路中設置小流量用的測流孔、并且在另一個流體通路中設置切換閥和大流量用的測流孔、通過切換閥的動作將流體流量的控制范圍切換為小流量域和大流量域、能夠遍及大范圍的流量域進行高精度的流量控制的壓力式流量控制裝置（例如，參照專利文獻2）。

圖20表示使用兩個測流孔的壓力式流量控制裝置的縱剖視圖，在圖20中，24是控制閥，25是切換閥，26是控制閥24及切換閥25的兼用閥體，26a是形成在閥體26上的上游側的流體通路，26b是在閥體26上以并列狀形成的下游側的兩個流體通路，27是固定在閥體26的上游側的入口側塊，27a是形成在入口側塊27上的入口側流體通路，28是固定在閥體26的下游側的出口側塊，28a是形成在出口側塊28上的出口側流體通路，29是配設在下游側的一個流體通路26b中的小流量用的墊圈型測流孔（與圖19所示的墊圈型測流孔20相同），30是配設在下游側的另一個流體通路26b中的大流量用的墊圈型測流孔（構造與圖19所示不同的墊圈型測流孔），31是配設在閥體26上的壓力傳感器，32是夾設在閥體26與入口側塊27之間的墊圈型過濾器。

另外，小流量用的墊圈型測流孔29及大流量用的墊圈型測流孔30也有使用相同的構造、而僅變更測流孔的孔徑的情況。

在上述壓力式流量控制裝置中使用墊圈型測流孔的情況下，必須在并列形成的兩個流體通路26b、26b中分別設置流量特性不同的兩個墊圈型測流孔29、30，所以有不能實現省空間化的問題。

此外，在測流孔中使用圖19所示的構造的墊圈型測流孔20的情況下，有為了完全防止從測流孔板23的密封部向外部泄露、在測流孔板23的壓入工序中需要仔細注意的問題。

專利文獻1?：特開2007－057474號公報，

專利文獻2?：特開2007－004644號公報。

發明內容