[發(fā)明專利]研磨裝置及研磨方法、以及玻璃板的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200980149953.1
• 申請日: 2009-12-01
• 公開（公告）號: CN102245350A
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 秋山秀;鈴木健司;齊藤勛;關(guān)昌雄
• 申請（專利權(quán)）人: 旭硝子株式會社
• 主分類號: B24B49/10
• 分類號: B24B49/10;B24B37/04;B24B49/18;B24B53/00
• 代理公司: 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

1.一種研磨裝置，使研磨工具和被研磨物相對壓緊而移動，并且一邊向研磨工具與被研磨物之間供給研磨液一邊利用研磨工具研磨被研磨物，所述研磨裝置的特征在于，具備：

AE傳感器，安裝在支承研磨工具或被研磨物的板上；

異常檢測部，基于來自被研磨物的彈性波被所述AE傳感器檢測到時從AE傳感器發(fā)出的輸出信號，檢測研磨中的異常；及

警告單元，當由所述異常檢測部檢測到被研磨物的異常時發(fā)出警告。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其中，

所述研磨工具是研磨墊，所述被研磨物是玻璃板。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其中，

所述研磨工具是修整砂輪，所述被研磨物是研磨墊。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其中，

當由所述異常檢測部檢測到所述玻璃板的異常時，利用控制所述研磨裝置的控制部使研磨裝置停止。

5.根據(jù)權(quán)利要求2或4所述的研磨裝置，其中，

所述AE傳感器從浸透到所述研磨墊中的所述研磨液經(jīng)由所述板而檢測來自所述玻璃板的彈性波。

6.根據(jù)權(quán)利要求2、4或5中任一項所述的研磨裝置，其中，

所述研磨墊經(jīng)由所述板被研磨平臺保持，

所述AE傳感器形成于所述板上，并安裝在從所述研磨平臺向側(cè)方伸出的突出片的下表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求2、4、5或6中任一項所述的研磨裝置，其中，

從所述AE傳感器向所述異常檢測部輸出的頻帶利用濾波器設(shè)定在100～200kHz的范圍內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項所述的研磨裝置，其中，

來自所述被研磨物的彈性波通過所述研磨液而被所述AE傳感器檢測出。

9.一種研磨方法，使研磨工具和被研磨物相對壓緊而移動，并且一邊向研磨工具與被研磨物之間供給研磨液一邊利用研磨工具研磨被研磨物，所述研磨方法的特征在于，

在支承研磨工具或被研磨物的板上安裝AE傳感器，

異常檢測部基于來自被研磨物的彈性波被所述AE傳感器檢測到時從AE傳感器發(fā)出的輸出信號，檢測研磨中的異常，

當由所述異常檢測部檢測到被研磨物的異常時，警告單元發(fā)出警告。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的研磨方法，其中，

所述研磨工具是研磨墊，所述被研磨物是玻璃板。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的研磨方法，其中，

所述研磨工具是修整砂輪，所述被研磨物是研磨墊。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的研磨方法，其中，

當由所述異常檢測部檢測到所述玻璃板的異常時，利用控制部控制所述研磨裝置，使研磨裝置停止。

13.根據(jù)權(quán)利要求10或12所述的研磨方法，其中，

所述AE傳感器從浸透到所述研磨墊中的所述研磨液經(jīng)由所述板而檢測來自所述玻璃板的彈性波。

14.根據(jù)權(quán)利要求10、12或13中任一項所述的研磨方法，其中，

所述研磨墊經(jīng)由所述板被研磨平臺保持，

所述AE傳感器形成于所述板上，并安裝在從所述研磨平臺向側(cè)方伸出的突出片的下表面。

15.根據(jù)權(quán)利要求10、12、13或14中任一項所述的研磨方法，其中，

從所述AE傳感器向所述異常檢測部輸出的頻帶利用濾波器設(shè)定在100～200kHz的范圍內(nèi)。

16.根據(jù)權(quán)利要求9～15中任一項所述的研磨方法，其中，

來自所述被研磨物的彈性波通過所述研磨液而被所述AE傳感器檢測出。

17.一種玻璃板的制造方法，其特征在于，使用權(quán)利要求9、10、12～16中任一項所述的研磨方法進行玻璃板的加工。